반도체 장비 자동화

반도체 애플리케이션은 완전 통제형의 청정 환경 내에서 웨이퍼 이송을 위해 고정밀도의 자동화와 안정적이고 예측 가능한 성능을 요구합니다. Brooks는 진공 및 대기압 웨이퍼 이송을 위해 독립형 컴포넌트로 또는 통합 시스템의 일부로 사용 가능한 자동 처리 솔루션을 제공합니다.

입증된 초저온 기능과 리더십을 활용하여 Brooks는 가장 까다로운 애플리케이션에까지도 예측 가능하고 파티클 없는 진공 또는 냉각 성능을 제공하는 진공 펌핑, 냉각 및 수증기 펌핑 솔루션을 제공합니다. 또한, Brooks 진공 계측 솔루션은 애플리케이션별 압력 측정, 압력 제어 및 진공 품질 측정 기능을 제공합니다.

오랜 경험과 최고의 기술 리더십, 업계 전문지식 그리고 다음과 같은 강력한 제품 포트폴리오를 바탕으로 식각, CVD, ALD, PVD, 노광, 청정도, 계측 및 검사를 위한 애플리케이션별 솔루션을 제공합니다.

Brooks는 20년 이상 반도체 시장에 자동화, 초저온 펌핑 및 계측 솔루션을 제공해온 선두업체입니다.  웨이퍼 크기가 100mm에서 300mm 기판으로 바뀔 때에도 Brooks는 입증된 솔루션과 컴포넌트를 사용하여 전환 과정에 앞장선 바 있습니다. 450mm 웨이퍼로 변하고 있는 업계의 트랜드에 따라 Brooks는 다시 한 번 고객과 협력하여, 선택한 컴포넌트로 또는 완전 자동화 시스템의 일부로 450mm 자동화, 초저온 펌핑 및 계측 기술을 구현할 준비가 되어 있습니다.

 

한국, 미국, 유럽, 중국, 대만, 일본, 싱가포르 소재의 지식과 경험이 풍부한 글로벌 서비스 팀이 Brooks 솔루션을 지원합니다.