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  • Products & Solutions
    • 반도체 자동화
      주요 제품
      Spartan 300 소터 4 I/O
      Spartan™ 300mm 4 I/O Sorter
       
        • 웨이퍼 이송 로봇
           
          • 대기압 로봇
             
            • Reliance ATR 로봇
              Reliance ATR 대기압 로봇
              Reliance ATR 로봇
              Reliance ATR 로봇 제품군은 입증된 성능 및 안정성과 고도의 청정성을 지원하며 다이렉트 드라이브 기술 및 DSP 기반 제어 전자장치를 활용합니다.
            • Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razor 로봇 FOUP
              Razor™ Atmospheric Transfer Robot & Modules
              Razor 로봇은 오늘날의 첨단 반도체 제조 작업 시 필요한 우수한 성능, 안정성 그리고 고도의 청정도를 보장합니다. Brooks 키네마틱 마운팅 시스템과 모션 컨트롤 특허 기술 그리고 안정적인 다이렉트 드라이브 로봇 기술을 통해, Razor 로봇은 빠른 설정과 높은 반복 정밀도, 극대화된 가동시간을 보장합니다.
            • Razor™ 얼라이너
              Atmospheric Razor Aligner
              Razor 얼라이너
              고성능 Atmospheric Razor Aligner는 200mm, 300mm, 또는 450mm 웨이퍼의 초정밀 위치 지정 기능을 지원합니다. 제조역량을 최적화하도록 설계된 Razor Aligner 및 기타 Razor 모듈은 설치 즉시 높은 품질을 제공하고 빠른 제품 설치와 단축된 리드타임을 자랑합니다.
          • 진공 로봇
             
            • MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran 7 BiSymmetrik 로봇
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™
              MagnaTran® 7 BiSymmetrik™(MAG 7 B) 로봇은 MagnaTran 제품군의 모든 기술적 장점을 통합하여 실제 평균 무고장 시간(MCBF)을 1,100만 이상으로 유지합니다.
            • MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran 7 Frogleg 로봇
              MagnaTran® 7 Frogleg™
              MagnaTran® 7 Frogleg™(MAG 7 F) 로봇은 MagnaTran 제품군의 모든 기술적 장점을 통합하여 실제 평균 무고장 시간(MCBF)을 1,100만 이상으로 유지합니다.
            • MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran 7 Leapfrog 로봇
              MagnaTran® 7 Leapfrog®
              MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 로봇은 MagnaTran 제품군의 모든 기능과 이점을 통합하여 대부분의 클러스터 도구 애플리케이션에 요구되는 최고의 처리량을 제공합니다.
            • MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran 7 SCARA 로봇
              MagnaTran® 7 SCARA
              MagnaTran® 7 SCARA(MAG 7) 로봇은 MagnaTran 제품군의 모든 기술적 장점을 통합하여 실제 평균 무고장 시간(MCBF)을 1,100만 이상으로 유지합니다.
            • MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran 8 QuadraFly 로봇
              MagnaTran® 8 QuadraFly
              MagnaTran® 8 QuadraFly 로봇은 입증된 SCARA 암 기술과 신뢰할 수 있는 다이렉트 드라이브 로보틱스를 접목하여 작은 컨테인먼트 회전 직경 내에서 4개의 웨이퍼를 동시에 교체할 수 있습니다.
            • MagnaTran® 8 Radius™
              MagnaTran 8 Radius 로봇
              MagnaTran® 8 Radius™
              듀얼 암 MagnaTran® 8 Radius™ 로봇은 현장에서 입증된 MagnaTran 다이렉트 드라이브 기술의 이점을 3축 구동으로 확장합니다. 또한, MagnaTran은 입증된 SCARA 암 기술을 활용하여 작은 회전 직경 내에서 4초 미만의 빠른 스왑을 제공합니다.
          • 부품
             
            • InLigner™
              Inligner
              InLigner
              InLigner는 MagnaTran 로봇에 통합되어 노치(notch) 또는 플랫 엣지 기준이 있는 100 ~ 200mm SEMI 표준과 Jeida 표준 웨이퍼를 위해 웨이퍼 센터링과 엣지 기준 방향을 제공합니다. 최대 6 평방인치의 석영 마스크를 포함하여 투명 및/또는 정사각형 기판에 사용할 수 있는 특별 구성도 가능합니다.
            • Fusion™ 컨트롤
              Fusion 컨트롤
              Fusion 컨트롤
              업계 최고 유연성을 자랑하는 완전 자동화 제어 솔루션. Fusion Controls는 최대의 성능과 가동시간을 제공합니다. 완전 맞춤형으로 사용이 쉬울 뿐만 아니라, 출시 기간을 단축하고 장비 수익성이 높은 특징이 있습니다.
        • 웨이퍼 이송 시스템
           
          • 진공 시스템
             
            • VCE 로드락
              VCE
              진공 카세트 엘리베이터 (VCE) 로드락
              웨이퍼 가공 환경에 따라 네 가지 스타일로 제공되는 VCE 6 진공 카세트 엘리베이터 로드락은 비용 효과적인 최첨단 공장 인터페이싱 기능을 제공하기 때문에 깨끗하고 안전한 AGV, RGV 또는 작업자의 최대 200mm SEMI 표준 웨이퍼 카세트 이송이 가능합니다.
            • Marathon™ 2 이송 시스템
              Marathon 2
              Marathon 2 이송 시스템
              Brooks의 첨단 진공 웨이퍼 이송 기술은 반도체 웨이퍼 가공 및 기타 복합 제조 환경의 설비 자동화 애플리케이션에 매우 적합합니다. Brooks는 특정한 제조 환경 및 공정 요건을 충족하는 광범위한 시스템을 제공합니다(100mm ~ 450mm 웨이퍼 이송을 위한 다양한 구성 가능).
            • Marathon™ Express
              Marathon Express
              Marathon Express 진공 이송 시스템
              Marathon Express®는 100mm, 125mm, 150mm, 200mm 크기의 웨이퍼를 사용하는 분야에서 뛰어난 진공 성능과 높은 처리량을 제공하도록 최적화된 구성이 용이한 모듈식 진공 이송 시스템(VTS)입니다.
          • 대기압시스템
             
            • Jet™ 대기형 이송 시스템
              Jet 2
              Jet 대기압 이송 시스템
              모든 Brooks 웨이퍼이송시스템의 핵심인 Jet 자동화 서브시스템은 시스템 단계에서 설계된 최초의 EFEM으로, 이를 통해 고객은 공통 핵심 기술을 중심으로 프로세스 장비를 제작할 수 있습니다. Jet는 산업 표준에 기초한 유연한 모듈식 구조를 통해 빠른 설정과 사이클 타임 단축 그리고 기존 fab 장비 및 공정과의 완벽한 통합을 지원합니다.
        • RFID 및 IR 자산 추적
        • 공장 자동화 솔루션
           
          • Spartan 소터
            Spartan 300mm 소터 4 I/O
            Spartan 소터
            이 통합형 웨이퍼 관리 시스템은 핵심적인 작업 중 하나인 웨이퍼를 최대한 청결하고 신속하게 이송하는 데 필요한 최소한의 규모와 복잡성만을 활용합니다. 또한 향상된 안정성과 극대화된 효율을 제공하며 파티클 레벨이 가장 낮아 업계 최고의 청정도를 실현합니다.
          • 로드 포트
             
            • IsoPort™ 300 로드 포트
              IsoPort
              IsoPort 300 로드 포트
              고도로 자동화되고 쉽게 구성이 가능한 웨이퍼 이송 솔루션은 어떤 장비와도 쉽게 통합될 수 있어 300mm 웨이퍼로 전환하는 장비 제조업체와 칩 제조업체 모두에게 커다란 이점을 제공합니다.
            • Vision™ 300 로드 포트
              Vision Loadport with FOUP
              Vision 300 로드 포트
              Brooks의 최신 로드 포트 모듈인 Vision 로드 포트 모듈은 300mm 및 450mm 설비 자동화를 위한 인텔리전트하고 유연한 공장출하 시 설정된 인터페이스 모듈입니다. 설정과 통합에 상당한 리드타임이 필요한 LPM과는 달리, Vision 로드 포트 모듈은 최대한의 상호운영성과 완벽한 호환성을 자랑하며 쉽게 구성할 수 있도록 설계되었습니다.
            • Certon™ 450 로드 포트
              Certon 450mm 로드 포트
              Certon™ 450 로드 포트
              Certon™ 450mm 로드 포트는 450mm FOUP, FOSB 및 MAC(멀티 애플리케이션 캐리어) 표준을 준수합니다.
          • 레티클 이송
             
            • M2 레티클 체인저
              M2 레티클 체인저
              M2 레티클 체인저
              Brooks M2 Reticle 체인저는 Reticle/MASK 교환 및 검사 시스템입니다. 개별 I/O 스테이션을 사용하여 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기 (Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 박스 등) 간의 이동이 가능 합니다.
            • 내로우 레티클 인덱서
              내로우 레티클 인덱서
              내로우 레티클 인덱서
              레티클 인벤토리의 효과성을 개선합니다. 다양한 파티클 오염물질과 공기 중의 분자상 오염물질로부터 레티클을 보호하며, 노광 설비에 대한 표준 인터페이스를 제공합니다.
          • SMIF 솔루션
             
            • SMIF 로드 포트 트랜스퍼(LPT)
              SMIF 로드 포트 트랜스퍼
              SMIF 로드 포트 트랜스퍼(LPT)
              SMIF-포드 카세트 로딩 및 언로딩을 광범위한 200mm 및 150mm 웨이퍼 가공 및 계측 장비에 쉽게 결합하는 인체 공학적으로 설계된 SMIF-I/O.
            • SMIF-INX 인덱서
              SMIF INX 인덱서
              SMIF-INX 인덱서
              고정된 Z축 웨이퍼 핸들러의 정해진 플랜에 맞춘 카세트 위치 지정 또는 고정된 Z축 웨이퍼 핸들러를 위한 웨이퍼 인덱싱을 제공하도록 설계되었습니다.
            • VersaPort™ 2200 로드 포트
              VersaPort™ 2200 SMIF 로드 포트
              VersaPort 2200 로드 포트
              로드 포트 오프너가 있는 업계 최첨단 200mm SMIF(standard mechanical interface) I/O 프로세싱 장비. VersaPort 2200은 200mm에서 300mm로의 이동용 "브리지 장비"로 설계되었지만, SMIF I/O 프로세싱의 오픈 카세트를 위한 솔루션이기도 합니다.

    • 반도체 오염 관리
      주요 제품
      M800
      M800 전자동 300mm FOUP 클리너
       
        • 세정 장비
          • FOUP/Pod 클리너
             
            • M800 300mm FOUP 클리너
              M800
              M800 300mm FOUP 클리너
              M800 Full Auto 300mm FOUP 클리너 는 파티클 및 AMC 세정 성능이 조합된 최상의 설비로서 높은 Throughput 과 함께 FOUP 내부의 완벽한 습도 제어 기능을 구현 합니다.
            • M330 전자동 FOUP 클리너
              M330 FOUP 클리너
              M330 FOUP 전자동 클리너
              M330 클리너는 세척 및 건조 성능이 뛰어나고 사용이 편리하고 비용 효율이 높은 세계 최고의 전자동 FOUP 호환 시스템 중 하나입니다.
            • M600 Automatic Pod 클리너
              M600
              M600 Automatic Pod 클리너
              M600 Full-Auto 원심력 클리너는 FOUP, FOSB 또는 RSP200 Pod 의 자동화 세정을 위한 완벽한 솔루션 입니다. 수동 모드로 전환 시, 현존하는 모든 유형의 Reticle 또는 Wafer 캐리어를 세정 할 수 있습니다.
            • M300 Semi-Auto FOUP/Pod 클리너
              M300
              M300 Semi-Auto FOUP/Pod 클리너
              M300 Semi-Auto 클리너 는 모든 종류의 반도체 Box (SMIF, Open cassette, FOUP, FOSB, RSP 및 Clamshell) 의 범용 세정이 가능하도록 설계된 원심력 클리너 로서 최상의 세정 및 건조 결과를 얻을 수 있습니다.
            • M450 450mm FOUP/MAC 클리너
              M450
              M450 450mm FOUP/MAC 클리너
              M450 Full Auto 450mm FOUP/MAC 클리너는 파티클 및 AMC 세정 성능이 조합된 최상의 설비로서 FOUP 내부의 완벽한 습도 제어 기능을 구현 합니다.
          • EUV Pod 클리너
            M1000
            EUV Pod 클리너
            M1000 Full Auto EUV Pod 클리너는 EUV Dual Pod 또는 RSP-200 Pod 의 각 부품별 독립 세정을 통한 최고의 성능을 발휘합니다.
        • 청정 스토리지
          • Reticle 스토커
            • M1500 반자동 Semi Auto
              M1500
              M1500 반자동 Semi-Auto Reticle Box 스토커
              Brooks 반자동 M1500 Reticle Box 스토커는 최대 1,500개 Reticle을 케이스 형태로 보관 할 수 있습니다. 모든 Reticle box ID는 확인 후 데이터베이스로 취합하여 통합 관리를 지원 하고 있습니다.
            • M1900 Reticle 스토커
              M1900 전자동 Full Auto
              M1900 Reticle 스토커
              총 네 가지 타입의 M1900 Reticle 스토커. : 전자동 Semi-Bare 스토커, 전자동 RSP-150 스토커, 전자동 EUV Dual POD 스토커, 반자동 Semi-Auto 스토커
            • M1990 전자동 Full-Auto 베어
              M1995
              M1990 전자동 Full-Auto 베어 Reticle 스토커
              Brooks M1990 모델은 최대 2,016개 의 Reticle을 보관할 수 있는 베어 타입의 Full-Auto 전자동 스토커 입니다.
            • M1995 전자동 Full-Auto
              M1995
              M1995 전자동 Full-Auto Compartment Reticle 스토커
              Brooks M1995 모델은 최대 2,860개의 레티클을 보관할 수 있는 Compartment 보관 타입의 Full-Auto 전자동 스토커입니다.
            • M2090 레티클 체인저 스토커
              M2090
              M2090 레티클 체인저 스토커
              Brooks M2090 레티클 체인저/스토커는 Reticle/MASK 교환, 검사 및 스토커 시스템입니다.
            • ZARIS 레티클 자동화 시스템
              ZARIS 레티클 자동화 시스템
              ZARIS 레티클 자동화 시스템
              광범위한 운송 및 스테퍼 카세트에서 이송된 5” 및 6” 레티클의 처리를 안정적으로 자동화합니다.
          • Wafer 스토커
            Wafer 스토커
            • M2100 200mm
              M2100 125w
              M2100 200mm Wafer 스토커
              Brooks M2100 모델은 최대 2,200개의 Wafer 를 보관할 수 있는 전자동 Full-Auto 200mm Wafer 스토커입니다.
            • M2200 300mm
              M2200
              M2200 300mm Wafer 스토커
              Brooks M2200 모델은 최대 2,300개의 Wafer 를 보관할 수 있는 전자동 Full-Auto 300mm Wafer 스토커입니다.
            • M2400 300mm
              M2400
              M2400 300mm Wafer 스토커
              Brooks M2400 모델은 최대 1,200개의 Wafer 를 보관할 수 있는 전자동 Full-Auto 300mm Wafer 스토커입니다.
        •  
          • Wafer carrier 및 박스
            • Reticle 박스
              메가 옵티컬 케이스
              Reticle 박스
              • 메가 옵티컬 케이스
              • A Rapid
              • B Ultra
              • C Swift
              • D Twin
              • 주문 제작
            • Wafer 캐리어
              웨이퍼 캐리어 8"
              Wafer 캐리어
              • 6" 웨이퍼 캐리어
              • 8" 웨이퍼 캐리어
            • 웨이퍼 이송 박스
              웨이퍼 캐리어 이송 박스
              웨이퍼 이송 박스
              • 200mm 웨이퍼 이송 박스
              • 200mm 단일 웨이퍼 이송 박스
          • 레티클 이송
             
            • M2 레티클 체인저
              M2 Reticle 체인저
              M2 레티클 체인저
              Brooks M2 Reticle 체인저는 Reticle/MASK 교환 및 검사 시스템입니다. 개별 I/O 스테이션을 사용하여 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기 (Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 박스 등) 간의 이동이 가능 합니다.
            • 내로우 레티클 인덱서
              내로우 레티클 인덱서
              내로우 레티클 인덱서
              레티클 인벤토리의 효과성을 개선합니다. 다양한 파티클 오염물질과 공기 중의 분자상 오염물질로부터 레티클을 보호하며, 노광 설비에 대한 표준 인터페이스를 제공합니다.

    • Life Science Solutions
      주요 제품
      BioStore ™ III 알아내는 -190 ° C 보관
       

    • Cryogenics
      주요 제품
      On-Board IS 크라이오펌프
      On-Board® IS 크라이오펌프
       
        • Brooks CTI-Cryogenics
           
          • 크라이오펌프 및 컴프레서
             
            • On-Board® IS 크라이오펌프 시스템
              On-Board IS 320 크라이오펌프
              On-Board® IS 크라이오펌프 시스템
              인텔리전트 On-Board IS 크라이오펌프 시스템은 혁신적인 고효율 크라이오 기술을 활용하여 최고의 진공 성능과 에너지 효율을 제공합니다. 특허 기술인 분산형 제어 시스템이 크라이오펌프 시스템의 개별 요소를 모니터링하고 지속적으로 조정하여 시스템 전반에 뛰어난 공정 일관성을 제공하기 위한 최적의 진공 성능을 유지하도록 해 줍니다.
            • On-Board® 크라이오펌프
              On-Board IS 크라이오펌프
              On-Board® 크라이오펌프
              Brooks CTI-Cryogenics On-Board 크라이오 진공 펌프는 설비에 빠르게 통합 장착되어 설비 운영을 향상시키며 신뢰성 및 성능면에서 세계표준입니다. 펌프에 필요한 모든 콘트롤 장치 및 주변 구성품을 갖추고 장시간에 걸쳐 일관된 성능을 발휘하는 On-Board 크라이오펌프는 전체적인 설비 생산성과 가동 시간을 향상시킵니다.
            • Cryo-Torr® 크라이오펌프
              CryoTorr 8 크라이오펌프
              Cryo-Torr® 크라이오펌프
              Cryo-Torr 크라이오펌프는 중요한 진공 공정에 사용되는 깨끗하고 안정적인 고속 펌프입니다. 특정 용도의 요건을 맞추기 위해 맞춤형 컨트롤과 주변 지원 기기를 추가하면 다양한 용도로 사용할 수 있습니다.
            • On-Board® 수증기 펌핑용 펌프
              On-Board 수증기 펌핑용 펌프
              On-Board® 수증기 펌핑용 펌프
              On-Board 수증기 펌핑용 펌프는 수증기 펌핑 속도를 올려 시스템 처리량을 현저하게 개선하고 더 나은 공정 결과를 제공하는 고성능 진공 펌프입니다.  
            • 컴푸레서
              Cryo 컴푸레서
              컴푸레서
              Brooks CTI-Cryogenics는 On-Board 크라이오펌프, Cryo-Torr 크라이오펌프 및/또는 On-Board 수증기 펌핑용 펌프에 최적의 성능을 제공하도록 디자인된 일련의 컴프레서를 공급합니다. 통합형 크라이오펌프 주파수 변환기는 모든 Brooks 진공 펌프에 대해 50Hz와 60Hz 애플리케이션 모두에서 최상의 크라이오펌프 성능을 보장합니다.
        • Brooks Polycold
           
          • 초저온 칠러 및 초저온 냉각기
             
            • P-102 초저온 칠러
              P-102 초저온 칠러
              P-102 초저온 칠러
              소형 진공 시스템에서 액화질소 대신 쉽게 사용할 수 있는 컴팩트한 소형 냉각 기능을 제공합니다. 이 초저온 발전기를 사용하여 액화질소 사용에 따른 비용, 불편함, 위험을 효과적으로 제거하면서 다른 제품에 뒤쳐지지 않는 유사한 성능을 제공합니다.
            • PCC 소형 냉각기
              Polycold PCC 부품 냉각기
              PCC 소형 냉각기
              PCC 소형 냉각기는 고해상도 디지털 이미징, 분석화학, 생명과학, 재료분석, 반도체 검사, 과학연구 및 수증기 크라이오트랩핑 등 까다로운 분야에서도 적용할 수 있도록 새로운 수준의 효율성과 안정성을 제공하는 컴팩트한 고성능 냉각 시스템입니다.
            • PGC 가스 칠러
              PGC Polycold
              PGC 가스 칠러
              PGC Gas Chillers 가스 칠러는 질소, 아르곤, 공기 등 압축된 건성가스를 사전냉각 없이 상온에서 초저온으로 냉각합니다. PGC 가스 칠러는 재순환되지 않는 가스 스트림을 냉매를 사용하여 냉각시켜 Tube-in-Tube 열교환기로 보내는 폐쇄형 루프 냉각 시스템입니다.
            • MaxCool 초저온 칠러
              XC 초저온 칠러
              MaxCool 초저온 칠러
              Polycold MaxCool 초저온 칠러는 각각 최대 2,500와트 또는 4,000와트의 냉각 용량을 제공하는 폐쇄형 루프 초저온 냉각 시스템입니다. 이 초저온 칠러는 수증기 및 기타 응축 가능한 물질을 냉각시킨 코일이나 갈매기형 배플과 같은 금속 표면에 냉동하여 포획하는데 사용할 수 있습니다. MaxCool 초저온 칠러는 또한 반도체 웨이퍼 공정에 사용되는 정전기 척 등과 같은 장치를 냉각하거나 가열하기 위해서도 사용됩니다.
            • PFC 수증기 초저온 칠러
              PFC Polycold
              PFC 수증기 초저온 칠러
              Brooks Polycold® PFC 수증기 초저온 칠러는 일반적으로 고진공 시스템 내에서 잔류하는 기체부하의 65% ~ 95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 포획합니다. 이 제품은 가동 “시작” 후 수 분 안에 수증기를 펌핑하고 4분 이내에 디프로스트 사이클을 마치며, 우수한 품질, 접착성 좋은 증착이 재현 되도록 증착 공정중 수증기 부분 압력을 낮춥니다.
            • Cryodyne 냉각기
              Cryodyne 냉각기
              Cryodyne 냉각기
              Cryodyne 냉각 시스템은 Gifford-McMahon 열역학 사이클을 바탕으로 하는 2단 밀폐형 헬륨 냉각 시스템 제품군입니다. 이들 제품의 사용 가능한 heat lift가 10K 미만에서 80K 이상이기 때문에 다양한 상업 및 연구 분야에 적합합니다.
            • 냉매 교체 충진
              냉매 교체 충진
              주문하려면 모델 번호별 냉매 교체 충진 부품 번호를 찾아보십시오.
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    • 반도체 장비 자동화
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          • 대기압 로봇
             
            • AcuLigner
              Aculigner 로봇
              AcuLigner
              AcuLigner™ ATM 로봇은 Brooks Automation 고성능 대기압 웨이퍼 이송 솔루션의 핵심 제품입니다. 다이렉트 드라이브 기술과 온보드 컨트롤을 이용하는 이들 시스템은 성능과 생산성을 높이는 데 중요한 역할을 담당합니다. 수리 작업으로 인해 가동 중단 시간이 길어져서는 안됩니다. 이를 위해 Brooks는 AcuLigner 제품을 지원하는 정가 수리 프로그램을 개발했습니다.
            • AcuTran AquaTran
              AquaTran 로봇 수리
              AcuTran AquaTran
              Brooks는 단계별 정가수리 서비스 프로그램을 제공하여 AcuTran/Aquatran 7 로봇 제품군의 가동 수명과 생산성을 향상시킵니다.
            • MultiTran 5 VacuTran 5
              MultiTran VacuTran 로봇 수리
              MultiTran 5 / VacuTran 5
              Brooks의 특허 기술인 BiSymmetrik™ Arm과 듀얼 SEMI/MESC 준수 End Effectors가 포함된 MTR 5 M 모델 MultiTran® 5 로봇은 격리된 클러스터 설비에서의 높은 처리량을 보장하는 진공 웨이퍼 이송 로봇입니다. VTR 5 M 모델 VacuTran™ 5 로봇은 SEMI/MESC 준수 Arm과 End Effectors를 포함하는 매우 안정적인 웨이퍼 이송 로봇입니다. VTR 5 M은 Single Arm 구성의 상단 장착형 로봇으로서, 클러스터 설비와 같은 대형 이송챔버 모듈에 사용됩니다.
            • Razor
              Razor Atmospheric Robot
              Reliance ATR 8
              Razor의 모듈식 설계로 인해, 고객은 자사의 MTTR(평균 수리 시간) 전략에 맞춰 FRU(현장 교체 장치) 패키지를 수정하고 예상치 못한 가동 중단을 최소한으로 유지할 수 있습니다. Brooks는 Razor 로봇을 지원하기 위한 Fixed Price Repair 프로그램을 제공합니다.
            • Reliance ATR 8
              Reliance 로봇 수리
              Reliance ATR 8
              Reliance ATR의 수리 사이클 타임이 길어지면 비용이 상승하고 예정에 없던 가동 중단 시간이 늘어날 수 있습니다. 이를 해결하기 위해 Brooks는 Reliance ATR를 지원하는 정가 수리 프로그램을 개발했습니다.
          • Equipe/PRI 로봇
             
            • AxM 100/200/400
              Equipe PRI AxM 로봇
              AxM 100/200/400
              • 가장 광범위한 Brooks, Equipe, PRI 및 Yaskawa 로봇을 구비한 원스톱 글로벌샵
              • OEM: 제품 기술 전문가 및 디자인 엔지니어
              • 주요 반도체 Fab이 있는 모든 지역에서 수리 서비스가 제공됩니다.
            • DBM 2400/2700
              Equip PRI DBM 로봇 수리
              DBM 2400/2700
              • 가장 광범위한 Brooks, Equipe, PRI 및 Yaskawa 로봇을 구비한 원스톱 글로벌샵
              • OEM: 제품 기술 전문가 및 디자인 엔지니어
              • 주요 반도체 Fab이 있는 모든 지역에서 수리 서비스가 제공됩니다.
            • PRE-200™ PreAligner
              Equipe PRI PreAligner
              PRE-200™ PreAligner
              • 가장 광범위한 Brooks, Equipe, PRI 및 Yaskawa 로봇을 구비한 원스톱 글로벌샵
              • OEM: 제품 기술 전문가 및 디자인 엔지니어
              • 주요 반도체 Fab이 있는 모든 지역에서 수리 서비스가 제공됩니다.
          • 진공 로봇
             
            • MagnaTran 7
              MagnaTran 7 진공로봇
              MagnaTran 7
              MagnaTran® 7(Mag 7) 로봇은 클러스터 장비와 같이 진공 환경과 격리 환경에서 작업 시 사용되는 가장 안정적인 최첨단 로봇입니다. 11.5 MCBF 이상의 신뢰도를 자랑합니다. MagnaTran 7의 수리 사이클 타임이 길어지면 비용이 상승하고 예정에 없던 가동 중단 시간이 늘어날 수 있습니다. Brooks는 고객의 부담을 덜어드리고자 MagnaTran 7 로봇을 지원하기 위한 정가수리 프로그램을 개발했습니다.
            • MagnaTran 8
              MagnaTran 8 로봇 수리
              MagnaTran 8
              Brooks는 단계별 정가수리 서비스 프로그램을 제공하여 MagnaTran 8 진공 로봇 제품군의 가동 수명과 생산성을 향상시킵니다.
            • VAC 407
              VAC 407 로봇
              VAC 407
              Brooks는 단계별 정가수리 서비스 프로그램을 제공하여 VAC-407 진공로봇 제품군의 가동 수명과 생산성을 향상시킵니다.
          • 로봇 컨트롤러
            로봇 컨트롤러
            로봇 컨트롤러
            Brooks는 단계별 정가수리 서비스 프로그램을 제안하여 AXM , DBM , AquaTran™/AcuTran® 및 Reliance™ ATR™ 로봇 제품군과 함께 사용되는 로봇 컨트롤러의 가동 수명과 생산성을 향상시킵니다.
        •  
        • Other Repairs & Exchanges

          대기압 및 진공로봇, 진공 게이지, 컨트롤러, 모니터 및 크라이오펌프에 대해 정가 수리 프로그램을 제공합니다.

          • 구리 분리
            비구리 공정과 해당 공정 시 사용되는 장비의 오염을 방지합니다.
          • 전 세계 수리센터 위치
            미국, 유럽 및 아시아 지역 수리센터 위치.
        • 현장 서비스
           
          • 현장 지원
          • 서비스 계약
          • Fab 생산성 서비스
        • 업그레이드 서비스
           
          • CTI-Cryogenics
             
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        • 예비부품

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          • Sample Lifecycle Management
            Sample Lifecycle Management
            Sample Lifecycle Management
            BioStorage Technologies, a subsidiary of Brooks, provides comprehensive sample lifecycle management solutions.

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