Razor 로봇은 오늘날의 첨단 반도체 제조 작업 시 필요한 우수한 성능, 안정성 그리고 고도의 청정도를 보장합니다. Brooks 키네마틱 마운팅 시스템과 모션 컨트롤 특허 기술 그리고 안정적인 다이렉트 드라이브 로봇 기술을 통해, Razor 로봇은 빠른 설정과 높은 반복 정밀도, 극대화된 가동시간을 보장합니다.
고성능 Atmospheric Razor Aligner는 200mm, 300mm, 또는 450mm 웨이퍼의 초정밀 위치 지정 기능을 지원합니다. 제조역량을 최적화하도록 설계된 Razor Aligner 및 기타 Razor 모듈은 설치 즉시 높은 품질을 제공하고 빠른 제품 설치와 단축된 리드타임을 자랑합니다.
듀얼 암 MagnaTran® 8 Radius™ 로봇은 현장에서 입증된 MagnaTran 다이렉트 드라이브 기술의 이점을 3축 구동으로 확장합니다. 또한, MagnaTran은 입증된 SCARA 암 기술을 활용하여 작은 회전 직경 내에서 4초 미만의 빠른 스왑을 제공합니다.
InLigner는 MagnaTran 로봇에 통합되어 노치(notch) 또는 플랫 엣지 기준이 있는 100 ~ 200mm SEMI 표준과 Jeida 표준 웨이퍼를 위해 웨이퍼 센터링과 엣지 기준 방향을 제공합니다. 최대 6 평방인치의 석영 마스크를 포함하여 투명 및/또는 정사각형 기판에 사용할 수 있는 특별 구성도 가능합니다.
Brooks의 첨단 진공 웨이퍼 이송 기술은 반도체 웨이퍼 가공 및 기타 복합 제조 환경의 설비 자동화 애플리케이션에 매우 적합합니다. Brooks는 특정한 제조 환경 및 공정 요건을 충족하는 광범위한 시스템을 제공합니다(100mm ~ 450mm 웨이퍼 이송을 위한 다양한 구성 가능).
모든 Brooks 웨이퍼이송시스템의 핵심인 Jet 자동화 서브시스템은 시스템 단계에서 설계된 최초의 EFEM으로, 이를 통해 고객은 공통 핵심 기술을 중심으로 프로세스 장비를 제작할 수 있습니다. Jet는 산업 표준에 기초한 유연한 모듈식 구조를 통해 빠른 설정과 사이클 타임 단축 그리고 기존 fab 장비 및 공정과의 완벽한 통합을 지원합니다.
Brooks의 최신 로드 포트 모듈인 Vision 로드 포트 모듈은 300mm 및 450mm 설비 자동화를 위한 인텔리전트하고 유연한 공장출하 시 설정된 인터페이스 모듈입니다. 설정과 통합에 상당한 리드타임이 필요한 LPM과는 달리, Vision 로드 포트 모듈은 최대한의 상호운영성과 완벽한 호환성을 자랑하며 쉽게 구성할 수 있도록 설계되었습니다.
Brooks M2 Reticle 체인저는 Reticle/MASK 교환 및 검사 시스템입니다. 개별 I/O 스테이션을 사용하여 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기 (Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 박스 등) 간의 이동이 가능 합니다.
Brooks M2 Reticle 체인저는 Reticle/MASK 교환 및 검사 시스템입니다. 개별 I/O 스테이션을 사용하여 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기 (Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 박스 등) 간의 이동이 가능 합니다.
인텔리전트 On-Board IS 크라이오펌프 시스템은 혁신적인 고효율 크라이오 기술을 활용하여 최고의 진공 성능과 에너지 효율을 제공합니다. 특허 기술인 분산형 제어 시스템이 크라이오펌프 시스템의 개별 요소를 모니터링하고 지속적으로 조정하여 시스템 전반에 뛰어난 공정 일관성을 제공하기 위한 최적의 진공 성능을 유지하도록 해 줍니다.
Brooks CTI-Cryogenics On-Board 크라이오 진공 펌프는 설비에 빠르게 통합 장착되어 설비 운영을 향상시키며 신뢰성 및 성능면에서 세계표준입니다. 펌프에 필요한 모든 콘트롤 장치 및 주변 구성품을 갖추고 장시간에 걸쳐 일관된 성능을 발휘하는 On-Board 크라이오펌프는 전체적인 설비 생산성과 가동 시간을 향상시킵니다.
PGC Gas Chillers 가스 칠러는 질소, 아르곤, 공기 등 압축된 건성가스를 사전냉각 없이 상온에서 초저온으로 냉각합니다. PGC 가스 칠러는 재순환되지 않는 가스 스트림을 냉매를 사용하여 냉각시켜 Tube-in-Tube 열교환기로 보내는 폐쇄형 루프 냉각 시스템입니다.
Polycold MaxCool 초저온 칠러는 각각 최대 2,500와트 또는 4,000와트의 냉각 용량을 제공하는 폐쇄형 루프 초저온 냉각 시스템입니다. 이 초저온 칠러는 수증기 및 기타 응축 가능한 물질을 냉각시킨 코일이나 갈매기형 배플과 같은 금속 표면에 냉동하여 포획하는데 사용할 수 있습니다. MaxCool 초저온 칠러는 또한 반도체 웨이퍼 공정에 사용되는 정전기 척 등과 같은 장치를 냉각하거나 가열하기 위해서도 사용됩니다.
Brooks Polycold® PFC 수증기 초저온 칠러는 일반적으로 고진공 시스템 내에서 잔류하는 기체부하의 65% ~ 95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 포획합니다. 이 제품은 가동 “시작” 후 수 분 안에 수증기를 펌핑하고 4분 이내에 디프로스트 사이클을 마치며, 우수한 품질, 접착성 좋은 증착이 재현 되도록 증착 공정중 수증기 부분 압력을 낮춥니다.
AcuLigner™ ATM 로봇은 Brooks Automation 고성능 대기압 웨이퍼 이송 솔루션의 핵심 제품입니다. 다이렉트 드라이브 기술과 온보드 컨트롤을 이용하는 이들 시스템은 성능과 생산성을 높이는 데 중요한 역할을 담당합니다. 수리 작업으로 인해 가동 중단 시간이 길어져서는 안됩니다. 이를 위해 Brooks는 AcuLigner 제품을 지원하는 정가 수리 프로그램을 개발했습니다.
Brooks의 특허 기술인 BiSymmetrik™ Arm과 듀얼 SEMI/MESC 준수 End Effectors가 포함된 MTR 5 M 모델 MultiTran® 5 로봇은 격리된 클러스터 설비에서의 높은 처리량을 보장하는 진공 웨이퍼 이송 로봇입니다. VTR 5 M 모델 VacuTran™ 5 로봇은 SEMI/MESC 준수 Arm과 End Effectors를 포함하는 매우 안정적인 웨이퍼 이송 로봇입니다. VTR 5 M은 Single Arm 구성의 상단 장착형 로봇으로서, 클러스터 설비와 같은 대형 이송챔버 모듈에 사용됩니다.
Razor의 모듈식 설계로 인해, 고객은 자사의 MTTR(평균 수리 시간) 전략에 맞춰 FRU(현장 교체 장치) 패키지를 수정하고 예상치 못한 가동 중단을 최소한으로 유지할 수 있습니다. Brooks는 Razor 로봇을 지원하기 위한 Fixed Price Repair 프로그램을 제공합니다.
MagnaTran® 7(Mag 7) 로봇은 클러스터 장비와 같이 진공 환경과 격리 환경에서 작업 시 사용되는 가장 안정적인 최첨단 로봇입니다. 11.5 MCBF 이상의 신뢰도를 자랑합니다. MagnaTran 7의 수리 사이클 타임이 길어지면 비용이 상승하고 예정에 없던 가동 중단 시간이 늘어날 수 있습니다. Brooks는 고객의 부담을 덜어드리고자 MagnaTran 7 로봇을 지원하기 위한 정가수리 프로그램을 개발했습니다.
