MaxCool 2500 L 초저온 칠러
MaxCool 데이터 시트
수증기 펌핑
Polycold MaxCool 2500 L 초저온 칠러는 고진공 챔버 내에 잔류하는 기체 중에 65% ~ 95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 펌핑합니다. 수증기는 일반적으로 가장 화학적 반응이 뛰어난 오염 물질입니다. MaxCool 초저온 칠러를 사용하면 기존 생산 설비에서도 제품 생산량을 20% ~ 100% 올릴 수 있으며 증착품질도 함께 개선할 수 있습니다.
MaxCool의 장점
- 고진공 펌핑다운 시에 최대 75% 시간 단축
- 고속 수증기 펌핑: 진공 챔버 내에서 초당 10,000 ~ 140,000 리터 펌핑
- 제품 처리량 20% ~ 100% 증가
- 우수한 품질의 박막, 접착성, 재현성 좋은 증착을 얻기 위해 공정 중에 수증기 부분 압력을 낮춤
- 액체질소로 냉각되는 Meissner에 비해 뛰어난 가격 대비 성능
- 전력관리를 통한 운영 유지 비용 최소화
- 다양한 공정을 위한 대용량 냉각 및 가열
MaxCool 초저온 칠러를 기존 진공 시스템에 적용할 경우, 획기적으로 펌프다운 시간을 줄이고 생산량을 늘릴 수 있습니다. MaxCool은 가동 "시작" 후 수 분 안에 수증기를 펌핑하고 4분 이내에 디프로스트를 마치며, 공정 사이클이 실로 빠르게 이루어 질 수 있도록 해 줍니다. 또한 디프로스트 후 대기 시간이 필요 없도록 한 Rapid Cool to Cool 이라는 옵션이 있습니다. 이는 기존 시스템에서 교대조당 더 많은 횟수의 생산 사이클을 가져갈 수 있음을 의미합니다.
특허 기술로 만든 혼합물 Polycold® 냉매를 사용하는 MaxCool은 Meissner 포획 원리에 따라 작동합니다. 수증기는 Meissner 코일이라고 하는 초저온으로 냉각된 표면에서 응축되어 포획됩니다. Meissner(초저온 코일)는 진공 챔버 내에 바로 장착되므로 포트, 매니폴드, 밸브, 배플로 인해 생기는 컨덕턴스 제한이 없습니다. 설치가 쉽기 때문에 초저온 코일은 어떠한 시스템에도 맞춰 장착될 수 있습니다.
운영에 있어 고진공 밸브를 필요로 하지 않습니다.
MaxCool 초저온 칠러는 확산 펌프, 터보 펌프 또는 헬륨 크라이오 펌프 가 장착된 어떤 기존 시스템에도 설치될 수 있는 비용적으로 가장 효과적인 업그레이드용 제품입니다.
MaxCool 초저온 칠러는 European Application Refrigerants(EC 1005/2009), 몬트리올 의정서 및 US EPA SNAP를 준수합니다.
장점
- -120 ~ -145C(153 ~ 128K)
- 최대 2500와트 열까지 제거
- 진공 시스템 내의 수증기를 140,000 l/초의 속도로, 8 x 10-10Torr(1 x 10-9mbar)의 진공도까지 응축포획
- 이론 상 최대 펌핑 속도 208,600 l/s
- 신속한 Cool to Cool로 생산성 증대
- 운영 유지 비용을 최소화할 수 있는 전력관리 옵션
- 온도 제어
- 전 세계의 규정을 준수하며 무독성, 비가연성 특성을 가진 Green 냉매충전 특허기술
- 혁신적이며 신뢰할 수 있는 입증된 Polycold 혼합 가스 냉각 방식 기반
- EU PED 및 MD 준수
- NRTL/CANADA 안전기준으로 등록된 TUV Rheinland
- ISO 9001:2008 인증 제조업체
MaxCool 4000 H 초저온 칠러
MaxCool 데이터 시트
수증기 펌핑
Polycold MaxCool 4000 H 초저온 칠러는 고진공 챔버 내에 잔류하는 기체 중에 65% ~ 95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 펌핑합니다. 수증기는 일반적으로 가장 화학적 반응이 뛰어난 오염 물질입니다. MaxCool 초저온 칠러를 사용하면 기존 생산 설비에서도 제품 생산량을 20% ~ 100% 올릴 수 있으며 증착품질도 함께 개선할 수 있습니다.
MaxCool의 장점
- 고진공 펌핑다운 시에 최대 75% 시간 단축
- 고속 수증기 펌핑: 진공 챔버 내에서 초당 10,000 ~ 200,000리터 펌핑
- 제품 처리량 20% ~ 100% 증가
- 우수한 품질의 박막, 접착성, 재현성 좋은 증착을 얻기 위해 공정 중에 수증기 부분 압력을 낮춤
- 액체질소로 냉각되는 Meissner에 비해 뛰어난 가격 대비 성능
- 전력관리를 통한 운영 유지 비용 최소화
- 다양한 공정을 위한 대용량 냉각 및 가열
MaxCool 초저온 칠러를 기존 진공 시스템에 적용할 경우, 획기적으로 펌프다운 시간을 줄이고 생산량을 늘릴 수 있습니다. MaxCool은 가동 "시작" 후 수 분 안에 수증기를 펌핑하고 4분 이내에 디프로스트를 마치며, 공정 사이클이 실로 빠르게 이루어 질 수 있도록 해 줍니다. 또한 디프로스트 후 대기 시간이 필요 없도록 한 Rapid Cool to Cool 이라는 옵션이 있습니다. 이는 기존 시스템에서 교대조당 더 많은 횟수의 생산 사이클을 가져갈 수 있음을 의미합니다.
특허 기술로 만든 혼합물 Polycold® 냉매를 사용하는 MaxCool은 Meissner 포획 원리에 따라 작동합니다. 수증기는 Meissner 코일이라고 하는 초저온으로 냉각된 표면에서 응축되어 포획됩니다. Meissner(초저온 코일)는 진공 챔버 내에 바로 장착되므로 포트, 매니폴드, 밸브, 배플로 인해 생기는 컨덕턴스 제한이 없습니다. 설치가 쉽기 때문에 초저온 코일은 어떠한 시스템에도 맞춰 장착될 수 있습니다.
운영에 있어 고진공 밸브를 필요로 하지 않습니다.
MaxCool 초저온 칠러는 확산 펌프, 터보 펌프 또는 헬륨 크라이오 펌프가 장착된 어떤 기존 시스템에도 추가로 설치 될 수 있는 비용적으로 가장 효과적인 업그레이드용 제품입니다.
MaxCool 초저온 칠러는 European Application Refrigerants(EC 1005/2009), 몬트리올 의정서 및 US EPA SNAP를 준수합니다.
장점
- -98 ~ -133C(183 ~ 140K)
- 최대 4000와트 열까지 제거
- 진공 시스템 내의 수증기를 220,000 l/초의 속도로, 5 x 10-8Torr(7 x 10-8mbar)의 진공도까지 응축 포획
- 이론 상 최대 펌핑 속도 328,000 l/s
- 신속한 Cool to Cool로 생산성 증대
- 운영 유지 비용을 최소화할 수 있는 전력관리 옵션
- 온도 제어
- 전 세계의 규정을 준수하며 무독성, 비가연성 특성을 가진 Green 냉매충전 특허기술
- 혁신적이며 신뢰할 수 있는 입증된 Polycold 혼합 가스 냉각 방식 기반
- EU PED 및 MD 준수
- NRTL/CANADA 안전기준으로 등록된 TUV Rheinland
- ISO 9001:2008 인증 제조업체
