PFC 수증기 초저온 칠러

Brooks Polycold® PFC 수증기 초저온 칠러는 일반적으로 고진공 시스템 내에서 잔류하는 기체부하의 65% ~ 95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 포획합니다. 이 제품은 가동 “시작” 후 수 분 안에 수증기를 펌핑하고 4분 이내에 디프로스트 사이클을 마치며, 우수한 품질, 접착성 좋은 증착이 재현 되도록 증착 공정중 수증기 부분 압력을 낮춥니다.

PFC 초저온 칠러를 기존 진공 시스템에 추가할 경우 펌핑다운 시간을 25% ~ 75% 줄이고 생산량을 20% ~ 100% 늘릴 수 있습니다. 또한, PFC 초저온 칠러는 액화질소로 냉각되는 Meissner에 비해 가격 대비 성능이 뛰어나며 1년의 짧은 기간 내에 투자 비용을 회수할 수 있습니다.

PFC 데이터 시트

주요 기능

  • -90° ~ -155°C(183 ~ 118K)
  • 간단한 튜브형 냉각 장치
  • 모델과 애플리케이션에 따라 진공 챔버 내의 수증기를 최대 200,000 L/초의 속도, 2 x 10-12 Torr의 진공 레벨로 응축 포획
  • 최대 3600와트까지 열제거
  • 전 세계의 규정을 준수하는 무독성, 비가연성 친환경 냉매
  • 특허 기술인 초저온 냉각 공정 및 냉매 혼합물
  • 다양한 형태의 냉동 코일 공급