컴푸레서

Brooks CTI-Cryogenics는 On-Board 크라이오펌프, Cryo-Torr 크라이오펌프 및/또는 On-Board 수증기 펌핑용 펌프에 최적의 성능을 제공하도록 디자인된 일련의 컴프레서를 공급합니다. 통합형 크라이오펌프 주파수 변환기는 모든 Brooks 진공 펌프에 대해 50Hz와 60Hz 애플리케이션 모두에서 최상의 크라이오펌프 성능을 보장합니다.

IS-2000V 데이터 시트

공급 가능 모델

  • 8200 컴프레서 - On-Board 크라이오펌프, On-Board 수증기 펌핑용 펌프 및 Cryo-Torr 크라이오펌프와 함께 사용되어 최적의 성능을 제공하도록 설계되었으며 최대 8인치 크기까지 펌프들과 함께 사용될 수 있습니다. 적절한 크기로 설계된 8200 컴프레서는 시스템 가동에 있어 최적의 위치에 설치될 수 있습니다.
  • 9600 컴프레서 - 긴 수명, 높은 신뢰성 그리고 사용의 용의함을 위해 특별히 설계되었으며, Cryo-Torr 크라이오펌프, On-Board 크라이오펌프, On-Board 수증기 펌핑용 펌프 , On-Board TurboPlus 진공 펌프와 함께 사용될 수 있는 제품으로 뛰어난 성능을 발휘합니다. 9600은 단독 또는 복수의 펌프와 연결되어 사용될 수 있으며 전 세계에 설치된 CTI-Cryogenics 펌프와 함께 사용될 수 있습니다.
  • 9700A 컴프레서 - 9700A 컴프레서는 풍부한 헬륨 공급 능력을 가지고 있어, 복수의 크라이오펌프의 운영이 필요한 곳에 이상적입니다. 복수의 크라이오펌프와 수증기 펌핑용 펌프가 함께 사용되어야 하는 경우, 9700A 컴프레서 한 대로 운영이 가능합니다. 복수로 컴프레서를 사용하는 경우에 비해 전력 소모량과 냉각수 사용량 그리고 설치 면적이 적은 9700A 컴프레서는 Cryo-Torr® 및 On-Board® 크라이오펌프와 함께 사용될 수 있습니다.
  • IS-1000 컴프레서 - On-Board IS 크라이오펌프용 지능형 고효율 컴프레서 기술.  IS-1000 컴프레서는 9600 컴프레서가 차지하는 설치 면적과 동일한 설치 면적에서도 최대 6대까지 On-Board IS-8F 크라이오펌프를 연결하여 사용할 수 있습니다.
  • IS-2000V 컴프레서 - 고압 기술, 로터리 펌프 기술, 그리고 SEMI S-23에 준하는 융통성 있는 헬륨 공급 기술을 조합하여 어느 작동 상황에서도 최소한의 전력만 사용합니다.  두 대의 On-Board IS-1000 컴프레서를 대체하는 대용량 헬륨 컴프레서인 IS-2000V는  On-Board IS 크라이오펌프와 함께 사용됩니다.

추가 장착 가능한 크라이오펌프용 파워 주파수 컨버터는 50Hz 및 60Hz 에서 사용되는 Brooks의 모든 진공 펌프들이 최대의 크라이오펌프 성능을 발휘 할 수 있게 해 줍니다.