On-Board® 크라이오펌프

Brooks CTI-Cryogenics On-Board 크라이오 진공 펌프는 설비에 빠르게 통합 장착되어 설비 운영을 향상시키며 신뢰성 및 성능면에서 세계표준입니다. 펌프에 필요한 모든 콘트롤 장치 및 주변 구성품을 갖추고 장시간에 걸쳐 일관된 성능을 발휘하는 On-Board 크라이오펌프는 전체적인 설비 생산성과 가동 시간을 향상시킵니다.

주요 기능

  • 재생(regeneration) 간 크라이오펌프 성능을 확장하는 Fast Regen™ 기능
  • 크라이오펌프 네트워킹을 통해 전체 시스템 재생을 가속화하는 동시 재생 기능
  • 성능을 향상시키고, 고장 진단을 하고, 커뮤니케이션 기능을 제공하는  마이크로프로세서 컨트롤 내장
  • 펌프의 성능과 운영을 획기적으로 개선하는 정교한 소프트웨어와 사용이 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스

On-Board 크라이오펌프 모델

4F

8

8F

10

10F

250F

400

500

펌핑 속도 - 리터/초

 

수증기

1,100

4,000

4,000

9,000

9,500

6,500

17,500

30,000

공기

370

1,500

1,500

3,000

 

2,200

6,000

10,000

수소

370

2,500

2,200

5,000

 

3,200

12,000

12,000

아르곤

310

1,200

1,200

2,500

 

1,800

5,000

8,400

용량 - 표준 리터

 

아르곤

210

1,000

1,000

2,000

 

1,000

2,500

6,000

수소(5x10-6 Torr)

3

17

12

24

24

16

42

45

정격재생시간(냉각 - 냉각)

 

1단 & 2단

75분

2.5시간

2.5시간

2.5시간

2.5시간

3.3시간 미만

3시간

3.8시간 미만

2단

1시간 미만

1시간 미만

1시간 미만

1시간 미만

1시간 미만

1.5시간 미만

1.5시간 미만