공장 자동화 솔루션

Brooks Automation은 업계에서 가장 청정한 웨이퍼 소터 및 로드포트를 제공합니다. Spartan 소터의 생산성과 수리 용이성 및 파티클 성능은 업계 최고 수준을 자랑하며 Brooks의 300mm Vision 로드포트는 안정적이고 유연한 도구 인터페이스가 있는 초청정 제품입니다. Brooks의 200mm SMIF LPT(로드 포트 트랜스퍼) 제품은 어댑티브 SMIF 솔루션의 산업 표준입니다. 또한 Brooks는 AMHS 병목을 줄이고 공구 효용을 높이는 혁신적인 니어툴(near-tool) 버퍼 솔루션도 제공합니다.

Spartan 450 웨이퍼소터
IsoPort 로드 포트