Certon™ 450 로드 포트

Certon™ 450mm 로드 포트는 450mm FOUP, FOSB 및 MAC(멀티 애플리케이션 캐리어) 표준을 준수합니다. 포드 도어(Pod Door)를 동기화하여 동시에 닫고 390N의 힘을 고르게 분산할 수 있는, 특허 출원 중인 포트 도어 메커니즘이 채택된 제품입니다.

특허 기술인 "Tilt & Go(기울여서 이동)" 기능을 이용하여 한 명의 작업자 설치하고 제거할 수 있으며 무게가 고르게 분산되기 때문에 다루기 쉽습니다. 450 로드 포트의 무게는 80kg로 경쟁사 제품의 절반에 지나지 않습니다.

표준 기능

  • 450mm, 300mm 웨이퍼 매핑, 단 300mm는 450mm 캐리어 인서트를 이용
  • 웨이퍼 돌출 감지
  • 캐리어 유무 감지

구성 용이성

  • 소프트웨어로 표시등 설정 가능
  • 통신: RS232 (HSMS, SECS, ASCII), 이더넷 (ASCII)

편의성

  • 내장형 RFID
  • 브라우저 구성 가능
  • 구형 및 타사 로드 포트를 에뮬레이션할 수 있는 프로토콜 컨버터

저 유지 비용

  • 내부 정렬이 필요하지 않아 단시간에 셋업 가능
  • 정기적 유지보수가 필요하지 않음

동급 최고의 인체 공학적 디자인

  • "Tilt & Go(기울여서 이동)" 기능으로 한 명의 작업자가 이동 및 설치
  • 특허 출원 중인 수평식 도어 닫기 메커니즘
  • 본 제품에 대한 자세한 정보는 현지 영업소로 문의해 주시기 바랍니다.