IsoPort™ I/O 포트

IsoPort, the production-proven 300 mm I/O port, broke new ground in automated 300 mm wafer handling with its industry leading interoperability and flexibility. It leverages pioneering leadership in automation technology to deliver a reliable, economic, Front-Opening-Unified-Pod (FOUP) interface.

IsoPort는 어떤 장비와도 쉽게 통합할 수 있는 고도로 자동화되고 쉽게 구성이 가능한 웨이퍼 이송 솔루션을 반도체 장비 제조업체에 제공합니다. IsoPort는 300mm 웨이퍼로 전환하는 장비 제조업체와 칩 제조업체 모두에게 커다란 이점을 제공합니다.

최고의 생산성과 수익성

  • 정확한 서보 제어 모션, 스마트한 래치키 디자인 및 최적화된 캐리어 감지를 통해 동급 최고의 상호운용성을 제공합니다.
  • 고중량 웨이퍼 캐리어와 현저하게 높아지는 수율 위험 해결 등과 같은 인체 공학적, 경제적 자동화 요구를 모두 충족합니다.
  • 장비 처리량이 최적화되어 FOUP 도착에서 첫 번째 웨이처 액세스까지 시간이 8초로 단축됩니다.
  • ISO Class 1 수준에 맞춘 동급 최고의 청정도를 제공합니다.
  • 모든 유형의 자동화 캐리어 식별 솔루션(RF, 적외선, 바코드)을 제공합니다.