Vision™ 로드 포트 모듈

Brooks는 세계 최대의 반도체 자동화 공급업체이자 LPM 기술 개발의 선구자입니다. Brooks는 전 세계 모든 반도체 제조공정에 로드 포트 모듈을 제공하고 있습니다. Brooks의 로드 포트 모듈은 오늘날 반도체 제조업체의 까다로운 요구사항을 충족하는 초청정성과 뛰어난 FOUP에 대한 로드 포트 상호운용성을 제공합니다. 또한 Brooks 로드 포트 모듈은 프로세스 장비의 다른 부분에서 이미 사용 가능한 기능을 활용하여 비용과 복잡성을 최소화합니다. 이 모듈은 웨이퍼를 안전성, 효율성, 청정성이 보장된 상태로 프로세스 장비로 로딩하고 언로딩할 수 있도록 지원하는 데 필요한 모든 상태/제어 인터페이스와 하드웨어 안전 인터락을 제공합니다.

데이터 시트

Vision™ 로드 포트는 Brooks의 최신 로드 포트 모듈입니다.  이 로드 포트는 장비 자동화용 유연한 인텔리전트 공장 인터페이스 모듈로 뛰어난 안정성과 초정정성을 지원합니다. 설정과 통합에 상당한 리드타임이 필요한 LPM과 달리, Vision 로드 포트는 최대한의 상호운용성과 완벽한 호환성을 자랑하며 쉽게 구성할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 수동 또는 AMHS 운반 차량을 통해 운반되는, 모든 SEMI 표준 준수 FOUP(Front Opening Unified Pods) 및 자동화된 FOSB(Front Opening Shipping Boxes)와 호환 가능합니다.

이미 광범위하게 설치된 Brooks의 FIXLOAD™ 제품 라인에 적용된 기술혁신과 분야별 전문지식을 바탕으로 Vision 로드 포트 모듈은 최고의 제조역량과 안정성을 제공합니다.

주요 기능

  • 하나의 공동 아키텍처 상에 300mm 및 450mm 설계
  • 버튼 터치만으로 Fab별 구성이 가능한 로컬 컬러 LCD 인터페이스
  • 높이 및 레벨을 한 번에 조절할 수 있는 키네매틱 마운팅 시스템
  • 캐리어 ID, 매핑, E84 등 리드타임을 줄일 수 있는 End-of-Line 구성 가능 옵션
  • 유틸리티의 사용을 줄이고 안정성을 높일 수 있는 서버 모션 컨트롤
  • BOLTS 및 FIXLOAD 호환성
  • 500,000 사이클 이상의 MCBF