M2 레티클 체인저

Brooks M2 Reticle 체인저는 Reticle/MASK 교환 및 검사 시스템입니다. 개별 I/O 스테이션을 사용하여 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기 (Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 박스 등) 간의 이동이 가능 합니다.

주요 기능

  • 전자동 레티클/마스크 이송
  • Class 1 국소 환경/ESD/AMC
  • 레티클 방향 정렬
  • 레티클 코드 확인
  • 박스 RF 태그 또는 바코드 확인
  • Bright light 육안 검사
  • 내장 계측 장비
  • N2 블로우 오프