내로우 레티클 인덱서

Brooks 레티클 처리 및 관리 제품은 레티클 인벤토리의 효율성을 개선하여 Fab에 이점을 제공합니다. Brooks 레티클 솔루션은 또한 레티클을 생산 및 운송하는 마스크 업체에도 이점을 제공합니다. 산업계가 32nm 미만의 라인 폭으로 이동하고 200mm 지름의 웨에퍼에서 300mm 웨이퍼로 전환함에 따라 레티클 생산 비용은 점차 늘어나고 적재적소에 정확한 레티클을 사용하지 못하는 심각한 문제에 직면하고 있습니다. 이러한 추세는 오염과 ESD 손상을 줄이기 위한 격리 및 자동화 전략의 필요성을 강조하고 있습니다.

이러한 상황은 Fab의 수익성 제고 측면에서 Brooks 내로우 레티클 인덱서의 중요성을 더욱 강화시키고 있습니다.

반도체 장치 제조업체, 포토마스크 공급업체, 장비 제조업체들은 생산 공정 중 값비싼 레티클을 조작하고 보호하기 위한 플랫폼으로 Brooks 레티클 처리 제품군을 널리 사용하고 있습니다.

최고의 생산성과 수익성

  • 내로우 레티클 인덱서는 다양한 파티클 오염물질과 공기 중의 분자상 오염물질로부터 레티클을 보호하며, 노광 설비에 대한 표준 인터페이스를 제공합니다. SMIF-Pods™ 및 SMIF-E™ 불활성 가스 제거 시스템과 함께 사용하여 ISO Class 3보다 좋은 환경을 유지하고 생산성과 수율을 증대할 수 있습니다.
  • 내로우 레티클 인덱서는 다양한 파티클 오염물질과 공기 중의 분자상 오염물질로부터 레티클을 보호하며, 노광 설비에 대한 표준 인터페이스를 제공합니다. SMIF-Pods™ 및 SMIF-E™ 불활성 가스 제거 시스템과 함께 사용하여 ISO Class 3보다 좋은 환경을 유지하고 생산성과 수율을 증대할 수 있습니다.
  • 내로우 레티클 인덱서는 다양한 파티클 오염물질과 공기 중의 분자상 오염물질로부터 레티클을 보호하며, 노광 설비에 대한 표준 인터페이스를 제공합니다. SMIF-Pods™ 및 SMIF-E™ 불활성 가스 제거 시스템과 함께 사용하여 ISO Class 3보다 좋은 환경을 유지하고 생산성과 수율을 증대할 수 있습니다.
  • SMIF 기반 레티클 포트는 레티클 검사 장비 공급업체나 Brooks로부터 직접 제공받아, 대부분의 스테퍼 및 레티클 제조에 사용할 수 있습니다.

내로우 레티클 인덱서

SMIF-INX™ 제품은 고정 Z축 핸들러와는 Z축 인덱싱을, Z축 가능 핸들러와는 레티클 카세트 높이 고정 방법을 이용할 수 있도록 설계되었습니다. SMIF 레티클 인덱서는 6 또는 9인치 레티클을 수용할 수 있습니다.

내장된 PTFE-ULPA 필터 시스템은 ISO Class 3보다 우수한 환경을 유지합니다. 공식적으로 문서화된 SMIF 및 SMIF-E-Charger 시스템의 오염 제어 장점들을 활용하여, 사용자는 생산성과 수율을 현격히 높여 비용을 절감할 수 있습니다.

최고의 생산성과 수익성

  • 하나 또는 여러 개(6)의 레티클 카세트를 사용하여 작동합니다.
  • SMIF-INX는 프로세스 장비에 직접 장착됩니다.
  • 위치 피드백 기능이 포함된 DC 서보 컨트롤을 이용 고속 웨이퍼 인덱싱을 하면서 장비 사이클 타임을 최소화하고 ±0.005인치(0.127mm)의 정확도를 보장합니다.
  • 특허인 레이저 기반의 감지 시스템으로 정밀한 레티클/슬롯 위치, 레티클 위치 매핑 및 레티클 돌출 감지 기능을 제공합니다.
  • 신속한 배선 및 장착이 가능하여 유지보수가 용이합니다.
  • 로드 포트는 SEMI E15 및 E19 규격을 준수하며 150R NRI는 SEMI S2 및 S8를 충족합니다.