SMIF-INX 인덱서

SMIF-INX 제품은 Z축 고정형 웨이퍼 핸들러와 Z축 가능 웨이퍼 핸들러 모두에 인덱싱을 제공하도록 설계되었습니다. SMIF-INX는 15,000대가 넘는 설치 기반을 통해 다용도성과 기능성, 그리고 안정성이 입증되었습니다. 이미 잘 알려진 SMIF 시스템의 오염 억제 효과는 최신 INX 2200 EP가 Fab에서 다이(die) 수율을 크게 높일 수 있도록 합니다. 인덱서는 SEMI E15 및 E19 규격을 충족하며, CE 인증을 획득했습니다.

최고의 생산성과 수익성

  • 내장된 PTFE-ULPA 여과 시스템은 ISO Class 3보다 우수한 환경을 유지합니다.
  • SMIF-INX는 프로세스 장비에 직접 장착됩니다.
  • 위치 피드백 기능이 포함된 DC 서보 컨트롤을 이용 고속 웨이퍼 인덱싱을 하면서 장비 사이클 타임을 최소화하고 ±0.005인치(0.127mm)의 정확도를 보장합니다.
  • 레이저식 센서 특허 시스템은 정밀한 웨이퍼 및 슬롯 위치, 웨이퍼 위치 매핑, 교차 슬롯 웨이퍼 탐지, 그리고 돌출 웨이퍼 감지 및 자동 리시팅(reseating) 기능을 제공합니다.
  • 신속한 분리가 가능하여 유지 관리가 용이합니다.