SMIF 로드 포트 트랜스퍼(LPT)

SMIF-LPT(로드 포트 트랜스퍼)는 인체공학적으로 설계된 SMIF-I/O로, 매우 다양한 200mm와 150mm 웨이퍼 가공 및 측정계측(metrology) 장비에 설치되어 SMIF-Pod 카세트의 로딩 및 언로딩 기능을 제공합니다. SMIF-LPT는 외부 수평방향으로 카세트를 이송해야 하는 진공 로드락 장비에 추가 장착 또는 장비 제조업체 판매 용으로 설계되었습니다.

SMIF-LPT는 매우 다양한 웨이퍼 Fab 장비에 SMIF 기능을 제공하고 업계 최고의 사이클 타임 단축과 설치 면적 감소 효과를 발휘합니다.

어댑티브 SMIF-LPT 솔루션

오픈 카세트 200mm 가공, 측정계측(metrology) 및 검사 장비용 Brooks 어댑티브 SMIF-LPT 솔루션은 비 SMIF 장비를 SMIF로 경제적으로 업그레이드하여 기존 200mm 시설을 180nm 미만의 기술 노드에서 반도체 제조용으로 전환할 수 있습니다. 서로 다른 카세트 랜딩 스테이지가 있는 OEM(주문자상표생산부착업체) 장비에 맞춰 세 가지 구성이 제공됩니다.

  • SMIF-LPT Tr은 비수직 카세트 배치용으로 설계된 회전식 헤드입니다.
  • SMIF-LPT Tx는 횡방향 카세트 모션을 지원하여 좁은 카세트 사이의 공간 문제를 해결합니다.
  • SMIF-LPT Ty에는 좁은 챔버 오프닝을 수용하는 오프셋 암이 있습니다.
  • 이런 특징들을 기존 SMIF-LPT에 결합하거나 업그레이드할 수 있습니다.
  • 뛰어난 키네매틱 인터페이스는 빠르고 정확하고 안정적인 장착/제거 옵션을 제공합니다(장비 제조업체가 결합할 수 있는 힌지 및 래치 옵션 제공).
  • 웨이퍼 인식 및 리시팅(reseating) 시스템은 웨이퍼 파손을 방지합니다.
  • 웨이퍼 이송은 Class 1 mini-environment (국소환경시스템)보다 우수한 환경에서 이루어져 파티클 오염으로부터 최대한 보호됩니다.
  • 빠른 로드 및 언로드 사이클 타임은 업계 최고입니다.
  • 내장된 SMART-Tag Auto ID는 랏 추적 및 제어를 지원합니다.
  • LPT/LPI 장치의 설치 기반은 12,000대가 넘습니다.

최고의 생산성과 수익성

  • 뛰어난 키네매틱 인터페이스는 빠르고 정확하고 안정적인 장착/제거 옵션을 제공합니다(장비 제조업체가 결합할 수 있는 힌지 및 래치 옵션 제공).
  • 웨이퍼 인식 및 리시팅(reseating) 시스템은 웨이퍼 파손을 방지합니다.
  • 웨이퍼 이송은 Class 1 mini-environment (국소환경시스템)보다 우수한 환경에서 이루어져 파티클 오염으로부터 최대한 보호됩니다.
  • 빠른 로드 및 언로드 사이클 타임은 업계 최고입니다.
  • 내장된 SMART-Tag Auto ID는 랏 추적 및 제어를 지원합니다.
  • LPT/LPI 장치의 설치 기반은 12,000대가 넘습니다.