VersaPort™ 2200 SMIF 호환 로드 포트

VersaPort 2200은 자체적인 로드 포트 오프너가 있는 최첨단 200mm SMIF(standard mechanical interface) I/O 프로세싱 툴입니다. 200mm - 300mm "브리지 장비"로 설계된 VersaPort 2200는 오픈 카세트뿐만 아니라 SMIF I/O 프로세싱 솔루션을 제공합니다.

Platform Mount VersaPort는 200mm SMIF-Pods™의 로딩 및 언로딩을 위한 SMIF 오염 제어 기술을 쉽게 적용 가능하도록 인체공학적으로 설계되었습니다. VersaPort는 최첨단의 200mm BOLTS 호환 로드포트 오프너이기도 합니다. 이 제품은 모든 200mm SMIF Pod부터 300mm 클래스 장비에 이르기까지 언로딩 및 로딩 기능을 수행합니다.

두 가지 제품에는 모두 레이저식 카세트 슬롯/웨이퍼 매핑, 교차 슬롯 인식, 웨이퍼 돌출 감지 및 자동 웨이퍼 리시트 등의 여러 정교한 기능이 포함되어 있습니다.

최고의 생산성과 수익성

  • MOCA(Manual Open Cassette Adapter) 옵션을 통해 오픈 카세트 I/O 프로세싱을 지원합니다.
  • VersaPort의 독창적인 “Tilt-n-Go” 키네틱 인터페이스를 통해 빠른 1인 설치와 손쉬운 정렬이 가능합니다. 설치 후에 재정렬할 필요가 없습니다.
  • SMIF 오염 제어 기술은 미연방규격 209-E에 따른 Class 1보다 우수한 성능을 제공합니다.
  • 첨단 레이저식 웨이퍼 인식 기술에는 레이저식 카세트 슬롯/웨이퍼 매핑, 교차 슬롯 인식, 웨이퍼 돌출 감지 및 자동 웨이퍼 리시팅(reseating) 등의 여러 정교한 기능이 접목되어 있습니다.
  • IR 기반 반사 센서는 웨이퍼 과다 돌출 감지를 지원하고, 리시트(re-seat) 용량이 초과된 웨이퍼를 인식하고, 비상 정지 및 브레이크를 작동시킵니다.
  • 내장형 자가 검사 진단 기능이 포함되었으며, 쉬운 디자인과 문제 해결을 위한 고급 진단 소프트웨어가 제공됩니다.
  • 프로그램 가능한 수평식 카세트 셔틀 옵션은 300mm 표준에 맞춰 웨이퍼를 정렬하고 수평 위치제어 기능을 통해 장비의 자동화를 지원합니다.
  • SEMI 및 CE를 준수하여 유지 비용을 낮춥니다.