Spartan™ 소터

통합 웨이퍼 관리 시스템을 통해 Spartan™ 소터는 최소한의 면적을 이용하여 웨이퍼를 최대한 깨끗하고 신속하게 이송하는 핵심 기능을 수행하기 위한 복잡한 기능을 제공합니다. Spartan 소터는 향상된 안정성과 극대화된 효율을 제공하면서 최저 파티클 레벨을 보장하는 업계 최고의 청정도를 제공합니다.

설치 편의성과 서비스 용이성은 Spartan 소터의 중요한 특성입니다. 이 소터의 간단하고 확장이 용이한 구조는 수리와 유지 관리를 쉽게 만듭니다. SEMI 표준을 엄격히 준수하는 Spartan 소터는 다양한 옵션으로 제공되어 다양한 분류(sorting) 애플리케이션에서 사용됩니다.

최고의 생산성과 수익성

  • ISO Class 1보다 우수한 성능의 최적화된 국소환경시스템 (mini-environment)으로 동급 최고의 청정도를 실현합니다.
  • 듀얼, 초박형 에지 그립 웨이퍼 운반 장치는 가장 까다로운 애플리케이션에서도 빠른 스왑 시간을 보장합니다.
  • 직선 동작의 웨이퍼 엔진은 간단하면서도 고안정성을 제공하여 설치와 문제 해결에 용이합니다.
  • 다양한 설정 및 구성이 가능한 설계와 고급 소프트웨어를 통해 사이클 타임을 단축하고 쉬운 설치와 서비스 및 유지 관리 용이성을 지원합니다.

Spartan 소터는 우수한 안정성과 서비스 및 유지관리 용이성을 통한 낮은 소유비용과 더불어 업계 최고의 파티클 성능을 실현합니다. Spartan 소터는 양산 공장에 설치된 1,200대가 넘는 시스템을 통해 효과가 입증된 웨이퍼 이송용 플랫폼입니다.