고급 환경 관리 옵션
Spartan Enerta™ 옵션
Spartan Enerta Purge 옵션은 순수 초청정 질소를 사용하여 FOUP 진입 후 85초 이내에 5퍼센트 미만의 상대 습도를 달성할 수 있는 업계에서 가장 빠른 N2 퍼지(purge) 장치입니다. 이 옵션은 웨이퍼를 O2 및 H2O 노출로부터 보호하여 자연발생 산화물 증가 및 구리 배선 부식을 방지하면서 수증기와 반응하고 더 많은 피해를 초래할 수 있는 화학 잔여물의 영향을 줄여 줍니다. 산소와 수증기 접촉을 줄임으로써 공정 단계 간의 핵심적인 타이밍의 영향도 줄입니다.
Spartan Enerta는 FOUP(Front Opening Unified Pod) 노즐 퍼지(purge) 와 도어 퍼지 두 가지 기능을 포함한 옵션입니다. 상면 및 측면 매니폴드의 도어 퍼지를 통해 도어가 열린 상태에서 웨이퍼가 FOUP 내외로 이동하는 동안 퍼지를 지속적으로 할 수 있습니다. 엄격한 가스 관리 및 유속 제어를 통해 퍼지 기술과 관련된 파티클 오염을 없애면서 신속한 퍼지가 가능합니다. 기체 주입 및 유속 제어가 사용자 관리 가능한 이 시스템은 고급 레서피(recipe)제어 퍼지를 제공하며, 이 모두 MES(제조실행시스템)에 의해 전적으로 제어됩니다.
Spartan용 화학 필터 옵션
Spartan용 화학 필터 옵션은 표준 청정실 필터를 관통할 수 있는 극미세한 공기 중의 분자상 오염물질(AMC)의 문제를 해결합니다. AMC는 특히 32nm 미만 노드의 공정 수율 및 안전성에 관한 여러 가지 문제를 초래합니다. 이 옵션을 사용하면 AMC를 제거하고 미니환경에 여과된 공기를 제공하여 웨이퍼가 FOUP 사이에서 깨끗하게 유지되도록 보장할 수 있습니다.
Spartan 저접촉 백사이드 엔드 이펙터
Spartan 저접촉 백사이드 엔드 이펙터는 업계 최고의 청정도를 실현하여 제조 노드가 줄어들면서 공정 성능에 점차 더 많은 영향을 미치는 백사이드 파티클을 제거합니다. 저접촉 백사이드 엔드 이펙터는 엣지 또는 백사이드 파티클이 웨이퍼 공정 부분으로 이동하는 것을 방지하여 결함을 줄입니다.
