동영상: 300mm Jet Common Platform(JCP), WaferEngine 자동화 포함

  • Jet Common Platform(JCP) SEMI 호환 EFEM
  • WaferEngine 자동화 포함, Brooks Vision 로드 포트 모듈, 표준 라이트 타워, EMO 및 GUI 옵션 포함
  • SEMI 표준 300mm FOUP 2개를 열어 EFEM에 도킹
  • WaferEngine이 웨이퍼 2개 더블픽
  • 하부 로봇 엔드 이펙터에 있는 웨이퍼를 Brooks 200/300mm 브리지 얼라이너에 놓고 정렬
  • "정렬된" 하부 웨이퍼를 얼라이너에서 집어 올리고 상부 엔드 이펙터에 있는 웨이퍼를 얼라이너에 놓음
  • 두 번째 웨이퍼를 정렬하면서 "정렬된" 웨이퍼 연장
  • 정렬된 첫 웨이퍼를 다른 FOUP으로 반송
  • FOUP 2개 사이에서 웨이퍼 이송
  • 세 번째 웨이퍼를 집어서 얼라이너에서 두 번째 웨이퍼와 스왑
  • 두 번째 웨이퍼를 로드 위치까지 연장한 후 원래 FOUP으로 반송
  • 모든 웨이퍼를 원 위치로 반송

green-arrow-liJet Common Platform에 대해자세히 알아보십시오.