동영상: 450mm EFEM(Equipment Front End Module)

동영상에 나오는 450mm EFEM(Equipment Front End Module) 장치는 300mm 로드 포트 하나와 450mm 로드 포트 2개로 구성되어 두 가지 웨이퍼 크기를 모두 처리합니다. 로드 포트에 배치된 450mm FOUP 안에 웨이퍼가 보입니다.  포드 도어가 열리면 대기압 로봇이 웨이퍼 2개를 선택하여 운송 시퀀스를 시작합니다.  그런 다음 EFEM의 내부를 보면 웨이퍼가 정렬된 후 450mm 진공 트랜스포트 시스템의 진공 로드락에 배치되는 것이 보입니다.