동영상 : Jet EFEM 안에 있는 450mm Wafer Engine

브룩스는 450mm 버전의 Certon Loadports와 Wafer Engine을 갖춘 EFEM을 선도하고 있습니다. 차세대 장비인 450mm 설비가 현재 제작 가능합니다.