동영상: M2-Nano 진공 이송 시스템 클러스터 장비

M2-Nano 진공 이송 시스템은 Brooks Marathon-2 고생산성 클러스터 장비 라인에 추가된 최신 제품입니다. 이 동영상은 M2-Nano 시스템의 진공 백엔드 부분을 (함께 사용되는 EFEM 생략) 보여줍니다. 고속 로드락과 업계 최고의 MagnaTran-7 진공 로봇이 설치된 초소형 이송 챔버가 보입니다. 하부 프레임 어셈플리는 프로세스 모듈을 3대까지 지원하는 완전한 유틸리티를 포함하며, CE 준수 안전 허브(Safety-Hub)를 통한 통신 및 인터락 기술을 특징으로 합니다.