동영상: Razor 대기압 로봇 더블-픽 기능 및 진공 그립

플립 옵션과 FOUP에서 웨이퍼를 한 번에 2개씩 집을 수 있는 10mm 피치 오프셋 진공 그립 엔드 이펙터를 포함한 Dual Yaw Razor 대기압 웨이퍼 이송 로봇