동영상: Spartan Sorters™ 웨이퍼 이송 | Brooks Automation

Spartan 소터는 우수한 안정성과 서비스 및 유지관리 용이성을 통한 낮은 소유비용과 더불어 업계 최고의 파티클 성능을 실현합니다. Spartan 소터는 양산 공장에 설치된 1,200대가 넘는 시스템을 통해 효과가 입증된 웨이퍼 이송용 플랫폼입니다.