반도체 오염 관리

Brooks Automation은 업계 최첨단 FOUP 캐리어/레티클 포드 클리너와 포토마스크/레티클 스토커 제품군을 제공합니다. Brooks 제품은 최첨단 습도 제어를 in-situ 계측과 함께 사용하여 20nm 미만인 노드에서 발생하는 중요한 공기 중의 분자상 오염물질(AMC), 생산성 및 공정 안정성 문제를 모두 해결합니다.

오염 관리 제품군 브로셔

M800 300mm FOUP/Pod 클리너