M2090 레티클 체인저/스토커

Brooks M2090 Reticle 체인저/스토커는 Reticle/MASK 교환, 검사 및 스토커 시스템입니다. I/O 스테이션을 통한 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기(Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 상자 등) 간에 이동을 가능하게 합니다. 장비의 뒷면에 옵션 항목으로 레티클 저장 랙(옵션)을 추가할 수 있습니다.

주요 기능

  • 전자동 레티클/마스크 이송
  • Class 1 국소 환경/ESD/AMC
  • 레티클 보관
  • 레티클 방향 정렬
  • 레티클 코드 확인
  • 박스 RF 태그 또는 바코드 확인
  • Bright light 육안 검사
  • 내장 계측 장비
  • N2 블로우 오프