ZARIS 레티클 자동화 시스템

ZARIS 레티클 자동화 시스템은 다양한 종류의 케리어, 스테퍼 카세트로부터 운송된 5” 및 6” 레티클을 안정적으로 자동처리 합니다. 레티클 소터/밝은 빛 매크로 검사/질소 세척 시스템으로 사용되는 업계 최고의 이 시스템은 수동 검사 단계에서 흔히 발생하는 마스크 손상과 취급 부주의를 방지합니다. 지속적으로 무결함 레티클을 정확한 방향으로 공급하는 ZARIS는 스테퍼의 효율을 개선하고 노광 재작업을 줄임으로써 장비운영 효율과 생산성을 향상시킵니다.

안정적인 작동과 사용 편리성이 입증된 ZARIS 레티클 자동화 시스템은 레티클과 펠리클의 손상을 최소화하면서 생산량을 증가시킵니다. ZARIS는 업계 최고의 Guardian 레티클 스토커와 함께 완벽한 Brooks 노광 자동화 시스템 제품군을 형성합니다.

데이터 시트

주요 기능

  • 레티클 분류, 밝은 빛 검사 및 질소 세척
  • 레티클과 펠리클 구분
  • ESD 안전 재질 사용

특징 및 기능(선택 옵션)

  • 레티클 및/또는 펠리클 ID 판독을 위한 OCR
  • 자동 파티클 인식
  • 펠리클 마운팅
  • GEM/SECS 링크