M2100 200mm Wafer 스토커

Brooks M2100은 최대 2,200개의 웨이퍼를 보관할 수 있는 전자동 200mm 웨이퍼 스토커입니다. 웨이퍼는 각각의 Compartment 에 가로 방향으로 보관되며, Compartment 는 개별 구역별로 관리되어 교차 오염을 방지 되도록 설계 되었습니다. 개별 웨이퍼에 신속히 접근할 수 있도록 설계되어 있으며, 사용자 필요시 소터로 사용할 수도 있습니다.

주요 기능

  • 전자동 웨이퍼 이송
  • Class 1 국소 환경/ESD/AMC
  • OCR 기능을 통한 웨이퍼 정렬
  • 웨이퍼 소터 기능
  • 자동 학습