M1000 EUV Pod 클리너

M1000 Full Auto EUV Pod 클리너는 EUV Dual Pod 또는 RSP-200 Pod 의 각 부품별 독립 세정을 통한 최고의 성능을 발휘합니다.

주요 기능

  • 고압 DI-Water 분사
  • EUV Pod Lid 및 Shell 개별 세정
  • AMC 화합물 제거를 위한 고진공 오염물 제거  
  • IR 건조 기술
  • 로드 포트의 N2/XCDA 퍼지
  • OHT 인터페이스
  • Class 1 국소 환경
  • SEMI standard Spec 의 SECS/GEM 인터페이스