M300 Semi-Auto FOUP/Pod 클리너

M300 Semi-Auto 클리너 는 모든 종류의 반도체 Box (SMIF, Open cassette, FOUP, FOSB, RSP 및 Clamshell) 의 범용 세정이 가능하도록 설계된 원심력 클리너 로서 최상의 세정 및 건조 결과를 얻을 수 있습니다.

주요 기능

  • Reticle/Wafer 캐리어 - 세정 시스템
  • 최고의 제품 유연성
  • 탁월한 IR 건조 시스템
  • 높은 처리량
  • 뛰어난 세척 및 세정 기능
  • 최저 CoO