M450 450mm FOUP/MAC 클리너

M450 전자동 450mm FOUP/MAC 클리너는 파티클 및 AMC 세정 성능을 결합한 최상의 설비로서 습도 제어 기능을 제공합니다.

주요 기능

  • 고압 DI-Water 분사
  • EUV Pod Lid 및 Shell 개별 세정
  • FOUP Lid 건조 세정 기능
  • AMC 화합물 제거를 위한 고진공 오염물 제거
  • FOUP 검사 스테이션
  • IR 건조 기술
  • 로드 포트의 N2/XCDA 퍼지
  • OHT 인터페이스
  • Class 1 국소 환경
  • SEMI standard Spec 의 SECS/GEM 인터페이스