M800 300mm FOUP 클리너

M800 전자동 300mm FOUP 클리너는 파티클 및 AMC 세정 성능이 조합된 최상의 설비로서, 가장 높은 Throughput 과 함께 습도 제어 기능을 갖추었습니다. 고진공 오염 제거 챔버는 설비 내부에 설치 되어, Robot 에 의해 운용 됩니다.

데이터 시트

주요 기능

  • 고압 DI-Water 분사
  • EUV Pod Lid 및 Shell 개별 세정
  • FOUP Lid 건조 세정 기능
  • AMC 화합물 제거를 위한 고진공 오염물 제거
  • FOUP 검사 스테이션
  • 시간당 20 FOUP Throughput
  • IR 건조 기술
  • 로드 포트의 N2/XCDA 퍼지
  • OHT 인터페이스
  • Class 1 국소 환경
  • SEMI standard Spec 의 SECS/GEM 인터페이스