웨이퍼 이송 로봇

Brooks Automation은 광범위한 ISO 클래스 1 청정실 용도에서 반도체 웨이퍼를 취급하는 업계 최고의 완전한 로봇 제품군을 제공합니다. 탁월한 정확성, 반복성, 도달 거리, 처리량과 유연한 엔드 이펙터, 얼라이너 및 페이로드 옵션의 종합 포트폴리오로 인해, 반도체 웨이퍼 취급 로봇은 모든 크기의 얇은 웨이퍼 또는 결합 웨이퍼와 특수 웨이퍼 캐리어를 취급하는 용도에 적합합니다.