대기압 Razor™ 얼라이너

Brooks 대기압 로봇 및 모듈은 프로세스 장비 및 클러스터 장비의 프런트 엔드에서 반도체 자재 이송을 다당하며 고성능 대기압 웨이퍼 이송 솔루션을 구성하는 핵심적인 제품입니다. 최고의 기술과 성능을 제공하는 Brooks는 새로운 차원의 장비 정밀도를 지원하면서 각지에 배송된 장비의 설치와 설정 속도를 향상시키는 최첨단 로봇 솔루션을 제공합니다. Brooks의 대기압 로봇 및 모듈은 여러 세대에 걸친 업계 최고의 자동화 솔루션을 활용하여 현재의 첨단 제조 공정에서 요구되는 처리량과 반복 정밀도 그리고 청정성을 최적으로 조합하여 제공합니다.

고성능 대기압 Razor Aligner는 200mm, 300mm, 또는 450mm 설비에서 초정밀 웨이퍼 정렬 기능을 지원합니다. 제조역량을 최적화하도록 설계된 Razor 얼라이너 및 기타 Razor 모듈은 설치 즉시 높은 품질을 제공하고 빠른 제품 설치와 단축된 리드타임을 자랑합니다. 다른 모든 Razor 제품과 마찬가지로, 얼라이너는 Fusion™ Controls 자동화 제어 솔루션을 이용해 쉽게 구성이 가능해져 장비 사용 시 요구되는 매우 다양한 요건을 충족할 수 있습니다.

Razor 얼라이너는 뛰어난 처리량 및 반복 정밀도와 청정성을 지원합니다.

주요 기능

  • 최고 10M의 MCBF 성능을 지원하는 높은 안정성
  • 싱글 엔드 이펙터 솔루션 사용 시 처리량을 증가시키는 버퍼 슬랏
  • 청정성과 웨이퍼 보호를 극대화하는 그립 방식이 아닌 패시브 엣지 접촉
  • 특허 기술의 모션 컨트롤 알고리즘과 다이렉트 드라이브를 통한 진동 감소
  • SEMI 및 기타 산업 표준 준수