면도기 ™ 대기 이송 로봇 및 모듈

Brooks 대기압로봇 및 모듈은 프로세스 장비 및 클러스터 장비의 프런트 엔드에서 반도체 자재 이송을 담당하며 고성능 대기압 웨이퍼 이송 솔루션을 구성하는 핵심적인 제품입니다. 최고의 기술과 성능을 제공하는 Brooks는 새로운 차원의 장비 정밀도를 지원하면서 배송된 각 장비의 설치와 설정 속도를 향상시키는 최첨단 로봇 솔루션을 제공합니다. 여러 세대에 걸친 업계 최고의 자동화 표준을 활용합니다.

데이터 시트 면도기 가족 브로셔

Razor 로봇은 현재의 첨단 반도체 제조 사업장에서 필요한 뛰어난 성능 및 안정성과 고도의 청정성을 지원합니다. Brooks 키네매틱 마운팅 시스템, 모션 컨트롤 특허 기술 및 안정적인 다이렉트 드라이브 로봇은 빠른 설정 및 높은 반복 정밀도와 가동 시간 극대화를 지원합니다. 또한 Razor 로봇은 — 24x7, 대량 생산 환경에서도 — 안정적인 성능을 제공하며 2개의 링크만으로도 3-FOUP을 트랙 없이 사용 가능한 매우 효율적인 암 구조를 갖는 것이 특징입니다.

다음과 같은 대기압 이송 로봇의 최첨단 기술을 활용하십시오.

  • 모션 프로파일을 최적화하여 처리 속도를 극대화하는 독자적인 모션 컨트롤 알고리즘(Time Optimized Trajectory 및 Time Optimal Path)
  • 높은 처리량, 고청정성을 자랑하는 패시브 엣지 접촉 솔루션 등 다양한 웨이퍼 이송 기술 선택 가능
  • 부품 수를 최소화하고 제품 수명을 연장하며 진동을 크게 줄이는 5세대 다이렉트 드라이브 기술
  • 업계에서 가장 사용하기 쉽고 구성이 용이한 모션 컨트롤 솔루션인 Fusion Controls 이용
  • 높이와 레벨을 한 번에 조절할 수 있는 키네매틱 마운팅 시스템(선택 옵션)

Brooks 대기압로봇 및 모듈은 프로세스 장비 및 클러스터 장비의 프런트 엔드에서 반도체 자재 이송을 담당하며 고성능 대기압 웨이퍼 이송 솔루션을 구성하는 핵심적인 제품입니다. 최고의 기술과 성능을 제공하는 Brooks는 새로운 차원의 장비 정밀도를 지원하면서 배송된 각 장비의 설치와 설정 속도를 향상시키는 최첨단 로봇 솔루션을 제공합니다. Brooks의 대기압 로봇 및 모듈은 여러 세대에 걸친 업계 최고의 자동화 솔루션을 활용하여 현재의 첨단 제조 공정에서 요구되는 처리량과 반복 정밀도 그리고 청정성을 최적으로 조합하여 제공합니다.

Razor Traverser의 고속 수평 방향의 모션을 통해 Razor 로봇은 Fab 안의 다양한 프로세스 장비, 로드 포트, 카세트 스테이징 위치에 접근할 수 있습니다. Razor Traverser는 Brooks의 특허 기술인 다이렉트 드라이브 기술을 이용하여 뛰어난 안정성과 부드러운 모션 컨트롤을 제공하여 진동과 파티클 오염을 최대한 줄입니다. 이와 동시에, Razor Traverser는 다른 고성능 Razor 모듈의 속도에 맞추기 위해 고속으로 작동합니다.

다른 모든 Razor 제품과 마찬가지로, Traverser는 Fusion™ Controls 자동화 제어 솔루션을 이용하여 편리한 구성이 가능하고 장비 사용 시 요구되는 매우 다양한 요건을 충족합니다.

주요 기능

  • 최고 10M의 MCBF 성능을 지원하는 높은 안정성
  • 5세대 다이렉트 드라이브 기술
  • 특허 기술인 모션 컨트롤 알고리즘을 통한 진동 감소
  • 빠른 장비 구성을 위한 기성 템플릿 패키지
  • SEMI 및 기타 산업 표준 준수