Reliance ATR 로봇

Reliance ATR 로봇 제품군은 오늘날의 첨단 반도체 조립 작업장에 필요한 입증된 성능 및 안정성과 고도의 청정성을 지원합니다. Reliance ATR 로봇은 다이렉트 드라이브 기술 및 DSP 기반 전자 제어장치를 활용합니다.

Brooks 대기압로봇 및 모듈은 프로세스 장비 및 클러스터 장비의 프런트 엔드에서 반도체 자재 이송을 담당하며 고성능 대기압 웨이퍼 이송 솔루션을 구성하는 핵심적인 제품입니다. 최고의 기술과 성능을 제공하는 Brooks는 새로운 차원의 장비 정밀도를 지원하면서 배송된 각 장비의 설치와 설정 속도를 향상시키는 최첨단 로봇 솔루션을 제공합니다. Brooks의 대기압 로봇 및 모듈은 여러 세대에 걸친 업계 최고의 자동화 솔루션을 활용하여 현재의 첨단 제조 공정에서 요구되는 처리량과 반복 정밀도 그리고 청정성을 최적으로 조합하여 제공합니다.

주요 기능

  • 12.8 million cycle의 MCBF 성능을 가진 높은 안정성
  • 다이렉트 드라이브 기술
  • 특허를 받은 Time Optimal Trajectory™ 및 Time Optimal Path™ 이송 방법의 경우 기존의 "S" 커브 알고리즘보다 20%까지 향상된 속도를 지원
  • 3축 또는 4축 옵션
  • 높은 처리량, 고도의 청정성 및 뒤틀린 웨이퍼의 처리 등 다양한 웨이퍼/기판 처리 기술 선택 가능
  • 얼라이너 옵션
  • 표준 또는 고중량 페이로드 옵션
  • SEMI 및 기타 산업 표준 준수