Fusion™ 컨트롤

Brooks 대기압 로봇 및 모듈은 프로세스 장비 및 클러스터 장비의 프런트 엔드에서 반도체 자재 이송을 다당하며 고성능 대기압 웨이퍼 이송 솔루션을 구성하는 핵심적인 제품입니다. 최고의 기술과 성능을 제공하는 Brooks는 새로운 차원의 장비 정밀도를 지원하면서 각지에 배송된 장비의 설치와 설정 속도를 향상시키는 최첨단 로봇 솔루션을 제공합니다. Brooks의 대기압 로봇 및 모듈은 여러 세대에 걸친 업계 최고의 자동화 솔루션을 활용하여 현재의 첨단 제조 공정에서 요구되는 처리량과 반복 정밀도 그리고 청정성을 최적으로 조합하여 제공합니다.

Brooks의 혁신적인 Fusion™ 컨트롤 플랫폼은 업계에서 가장 사용이 편리하고 완전한 자동화 제어 솔루션입니다. 완전 맞춤형의 사용이 쉬운 Fusion 컨트롤은 최대의 성능과 가동 시간을 제공하며 출시 기간을 단축하고 장비 수익성을 높입니다.

주요 특징/장점

  • 최고의 정밀도와 성능을 제공하는 특허 기술의 모션 컨트롤
  • 모든 모션 축을 실시간으로 동기화하고 조정할 수 있는 확장형 고속 모션 컨트롤
  • Fab과 장비별 고유 설정 및 기능 확장을 위한 소프트웨어 구성 가능
  • 단순한 구성, 통합, 작동 및 유지보수가 가능한 사용이 쉬운 그래픽 인터페이스
  • 효율적인 문제 해결을 위한 시각화 및 에뮬레이션 기능(원격 문제 해결도 가능)

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