InLigner™

Brooks는 반도체 웨이퍼 처리, 플랫 패널 디스플레이 제조, 기타 복잡한 제조 환경을 위한 진공 처리 로봇 및 모듈 생산 분야에서 세계 최고의 업체입니다. Brooks는 동급 최고의 제품을 차별화하고 우수한 처리량, 안정성 및 서비스 가능성을 보장하는 수많은 지적재산을 축적하면서 기술을 발전시키고 시장에서의 리더십을 유지했습니다. 현장에서 입증된 Brooks의 웨이퍼 이송 로봇 및 모듈을 이용하면 성능을 향상시키고 총소유 비용을 절감하여 제조 효율을 높이고 혁신을 가속화하면서 이익을 창출할 수 있습니다.

Brooks InLigner는 MagnaTran 로봇에 통합되어 노치(notch) 기준이나 플랫 엣지 기준이 있는 100 - 200 mm SEMI 표준 웨이퍼와 Jeida 표준 웨이퍼의 센터링과 엣지 기준 방향 정렬 기능을 제공합니다. 최대 6 평방인치의 석영 마스크를 포함한 정사각형 또는 투명 기판을 처리할 수 있는 특수 사양도 제공 가능합니다. PM을 장착하는 챔버 이송 단면(facet)을 최대한 활용하기 위해 InLigner는 로드락과 TM 챔버 사이에 장착되며, 로드락에 있는 웨이퍼는 InLigher를 통해 엑세스가 가능해집니다.

현장에서 입증된 InLigner가 높은 정밀도의 성능과 최적의 유연성을 제공합니다.

주요 기능

  • MagnaTran 7 로봇과 직접 통합되어 같은 진공 공간 내에서 방향 정렬 및 센터링을 제공합니다.
  • 로드락과 함께 장착되어 공정 모듈에 대한 단면(facet) 가용성을 극대화합니다.
  • 투명 및/또는 정사각형 기판을 위한 사양을 제공합니다.
  • CE/S2 규격을 준수합니다.