MagnaTran® 7 BiSymmetrik™(MAG 7 B) 진공로봇

진공 클러스터 도구에서 높은 처리량의 애플리케이션용 이송 로봇

MagnaTran® 7 BiSymmetrik™(MAG 7 B) 로봇은 MagnaTran 제품군의 모든 기술적 장점을 통합하여 실제 평균 무고장 시간(MCBF)을 1,100만 이상으로 유지합니다.

단순한 디자인을 통해 가동부(moving part)를 최소화했습니다. 다이렉트 마그네틱 드라이브에 다이내믹 진공 실(seal)이 없기 때문에 마찰, 마모, 찢어짐 및 회전이 적어 고장이 줄어듭니다. 스테퍼 모터를 제거했기 때문에 진동이 줄어들고 파티클이 적으며 엣지 접촉 없이도 위치 정확도가 높아집니다. 현장에서 입증된 주요 제어 전자장치 사용으로 설치 공간이 줄어들고 전자적 간섭의 위험이 적어 안정성이 향상됩니다.

주요 기능

  • 300mm 크기의 웨이퍼까지 처리
  • 듀얼 엔드 이펙터가 포함된 특허 기술의 BiSymmetrik 암
  • 다아내믹 실(seal), 구동 벨트 또는 케이블이 없는 컴팩트한 다이렉트 드라이브 기술
  • DSP 기반 제어 전자장치
  • 특허 기술의 Time Optimal Trajectory
  • 로컬/원격 모니터링 및 진단을 위한 고급 펌웨어
  • CE 및 SEMI S2 준수
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장점

  • 최첨단 클러스터 장비와 호환 가능
  • 매우 높은 처리량
  • 적은 설치 면적
  • VHV 호환성
  • 낮은 소유 비용
  • 최대 작동 속도
  • 글로벌 서비스 제공
  • 정전으로부터 더 안전하게 복구

이송 속도를 s-곡선 프로파일보다 15 ~ 30% 빠르게 만드는 Time Optimal Trajectory™ 알고리즘을 통해 매우 높은 처리량이 달성됩니다. 무한 회전 기능으로 인해 180도 이상 이동할 필요가 없으며 Brooks의 전용 DSP 컨트롤러가 포함된 다이렉트 드라이브 서보가 진동을 최소화합니다. MAG 7 B 로봇의 특허 기술인 BiSymmetrik 암을 사용하면 웨이퍼 교환 및 버퍼링이 가능합니다.

PASIV™ 사용자 프로그래밍이 가능한 안전 구역이 수동 작업 시의 충돌을 방지해 고가의 웨이퍼와 프로세스 장비의 안전을 보장합니다. 또한 모뎀으로 연결된 원격 서비스 터미널에서 그래픽 인터페이스를 사용하여 종합적인 진단이 가능합니다. 사전 이벤트의 오류 기록에 시간 및 날짜 스탬프가 표시되고, 사이클 카운터가 비휘발성 메모리에 존재하며 중요한 성능 특성을 그래픽 방식으로 모니터링합니다. 기판 센서, 기타 밸브 등과 같은 주변 장치 모듈과 다이렉트 연결이 가능한 고속의 디지털 I/O로 멀티센서 인터페이싱이 가능합니다.