MagnaTran® 7 Leapfrog®(MAG 7 X) 진공로봇

진공 클러스터 도구에서 최고의 처리량을 발휘하는 애플리케이션용 듀얼 암과 동측 웨이퍼 이송 로봇

MagnaTran® 7 Leapfrog® (MAG 7 X) 로봇은 MagnaTran 제품군의 모든 기능과 이점을 통합하여 대부분의 클러스터 도구 애플리케이션에 요구되는 최고의 처리량을 제공합니다.

Time Optimal Trajectory™ 알고리즘을 사용하여 매우 높은 처리량이 달성됩니다. 무한 회전 기능으로 인해 180도 이상 이동할 필요가 없으며, 다이렉트 드라이브 서보와 전용 DSP 컨트롤러가 진동을 최소화합니다. 특허 기술의 Leapfrog® 암을 사용하면 웨이퍼 교환과 버퍼링이 가능합니다.

주요 기능

  • 최고 처리량을 제공하는 MagnaTran 7 로봇
  • 300mm 크기의 웨이퍼까지 처리
  • 다아내믹 실(seal), 구동 벨트 또는 케이블이 없는 컴팩트한 다이렉트 드라이브 기술
  • 입증된 1,100만 이상의 MCBF 안정성
  • 완전하게 장착되는 DSP 기반 제어 전자장치
  • 로컬/원격 모니터링 및 진단을 위한 고급 펌웨어
  • CE 및 SEMI S2 준수
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장점

  • 최첨단 클러스터 장비와 호환 가능
  • 매우 높은 처리량
  • VHV 호환성
  • 낮은 소유 비용
  • 최대 작동 속도
  • 글로벌 서비스 제공
  • 정전으로부터 더 안전하게 복구

동급 최고의 MagnaTran 기술에는 다이렉트 마그네틱 드라이브가 포함됩니다. 마찰, 마모, 찢어짐 및 회전이 적기 때문에 고장이 줄어들고, 진동과 파티클 역시 최소한으로 유지됩니다. 이러한 디자인을 통해 엣지 접촉 없이도 위치 정확도를 높일 수 있습니다. 립(lip) 실 또는 자성 유체(Ferro-Fluidic) 실을 없애 진공 성능이 높아지고 이송챔버의 수분이 제거되며 PVD 필름의 효과적인 증착이 가능합니다. 적은 설치 공간을 차지하는 주요 제어 전자장치 또한 전자적 간섭의 위험을 줄이고 소규모 패키징과 높은 안정성을 보장합니다.

모뎀으로 연결된 원격 서비스 터미널에서 그래픽 인터페이스를 사용하여 종합적인 진단 루틴을 모니터링할 수 있습니다. 보기-추적 유틸리티를 사용하여 엔드 이펙터에서 프로그래밍된 가속화와 실제 가속화를 모니터링할 수 있습니다. 사전 이벤트의 오류 기록에 시간 및 날짜 스탬프가 표시되고, 사이클 카운터는 비휘발성 메모리에서 작동됩니다. 즉, 주요 성능 특성을 그래픽 방식으로 모니터링할 수 있습니다.

기판 센서, 기타 밸브 등과 같은 주변 장치 모듈과 다이렉트 연결이 가능한 고속의 디지털 I/O로 멀티센서 인터페이싱이 가능합니다. 실시간 정보를 이용하여 엣지에서 이동 부품을 감지하여 위치 참조가 가능하며, 사용자 지정된 방사형 위치의 다이내믹 감지 기능을 이용하여 Leapfrog 암에서 독립적인 웨이퍼 감지가 가능합니다. PASIV™ 안전 기능(프로그래밍 가능한 액세스 안전 포함 볼륨)은 사용자 프로그래밍이 가능한 액세스 구역을 제공하여 수동 작업 시의 충돌을 방지하여 고가의 웨이퍼와 프로세스 장비의 높은 안전 수준을 보장합니다.