MagnaTran® 8 QuadraFly 진공로봇

높은 처리량과 작은 컨테인먼트 애플리케이션을 통해 진공에서 4개의 웨이퍼를 동시 교체 가능

MagnaTran® 8 QuadraFly 로봇은 입증된 SCARA 암 기술과 신뢰할 수 있는 다이렉트 드라이브 로보틱스를 접목하여 작은 회전 직경 내에서 4개의 웨이퍼를 동시에 교체할 수 있습니다. 또한 QuadraFly 로봇은 현장에서 입증된 MagnaTran® 8 다이렉트 드라이브 기술의 이점을 특허 기술인 3축 드리이브에 적용합니다. 3축 드라이브와 QuadraFly Butterfly 암셋 모두 고중량 페이로드를 수용할 수 있도록 디자인되었습니다.

다이렉트 마그네틱 드라이브 기술은 부품의 수를 줄이고 진공 유지를 위해 필요한 다이내믹 실(seal)을 없애 안정성을 개선합니다. 다이내믹 진공 실이 없기 때문에 마찰, 마모, 찢어짐 및 회전이 적어 고장이 줄어들고, 스테퍼 모터 및/또는 반송 커플링 메커니즘이 없기 때문에 진동, 파티클, 백래시가 줄어들고 위치 반복 정밀도가 증대됩니다.

주요 기능

  • 4개의 엔드 이펙터가 진공에서 4개의 웨이퍼 동시 이송
  • 다이내믹 실(seal), 타이밍 벨트 또는 케이블이 없는 대용량 다이렉트 드라이브 기술
  • 1,280만 MCBF 이상의 입증된 안정성
  • 특허 기술의 Time Optimal Trajectory 모션 컨트롤
  • 외부 컨트롤이 드라이브에서 최대 15피트 떨어져 위치
  • 사용자 프로그래밍 가능한 로봇 액세스 구역
  • CE 및 SEMI S2 준수
  • 450mm 사용
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장점

  • 높아진 시간당 처리량과 장비 생산성
  • 높은 페이로드 용량
  • 낮은 소유 비용
  • UHV 호환성
  • 웨이퍼 및 장비 안전
  • 글로벌 서비스 제공
  • 국제 디자인 및 업계 안전 기준 충족

QuadraFly 로봇의 고속 스왑 암셋, Time Optimal Trajectory™의 연속 회전/다이렉트 드라이브 서보, Brooks만의 DSP 컨트롤러 등이 조합되어 더 높은 처리량을 제공하고 생산성을 증대합니다.

사용자 프로그래밍 가능한 안전 구역이 수동 작업 시의 충돌을 방지하여 고가의 웨이퍼와 프로세스 장비의 안전을 보장합니다. 모뎀으로 연결된 원격 서비스 터미널에서 그래픽 사용자 인터페이스를 사용하여 종합적인 진단이 가능합니다. 이벤트의 오류 기록에 시간 및 날짜 스탬프가 표시되고, 사이클 카운터가 비휘발성 메모리에 저장되며 중요한 성능 특성이 그래픽 방식으로 모니터링되고 보고됩니다. 기판 센서, 밸브, 기타 밸브 등과 같은 주변 장치 모듈과 직접 연결되는 고속 디지털 I/O를 통해 멀티센서 인터페이싱이 가능합니다. 또한 실시간 정보를 이용하여 엣지에서 이동 부품을 감지하여 위치 참조가 가능하며, 안전을 위해 매크로 시퀀스에서 웨이퍼 존재를 참조할 수 있습니다.