Jet™ 대기형 이송 시스템

Brooks는 반도체 웨이퍼 가공 환경과 기타 복합 제조 환경에 필요한 고성능과 초정정성 그리고 검증된 안정성을 일관되게 제공합니다. 가장 혹독한 Fab 환경에서 철저한 테스트를 거친 Brooks의 EFEM은 제조업체의 장비/공정과의 업계 최고 수준의 상호운용성을 보장합니다.

또한 Brooks의 대기압 시스템은 우수한 구성 용이성과 광범위한 규격제품 선택 옵션을 통해, 용도별 요구사항과 급변하는 산업계 요건에 맞춰 변경이 가능합니다.

모든 Brooks 웨이퍼 이송 시스템의 핵심적인 대기형 자동화 서브시스템인 Jet는 시스템 단계에서 설계된 최초의 EFEM으로, 이를 통해 고객은 공통 핵심 기술을 바탕으로 프로세스 장치를 제작할 수 있습니다. Jet는 산업 표준에 기초한 유연한 모듈식 구조를 통해 빠른 설정 및 사이클 타임 단축과 기존 Fab 장비 및 공정과의 완벽한 통합을 지원합니다. Brooks Jet 제품군은 현재 반도체 제조업체들이 기대하고 요구하는 고성능 및 초청정성과 검증된 안정성을 제공합니다.

혁신적인 반도체 웨이퍼 이송 방식을 경험해 보십시오.

주요 기능

  • 1시간 이내의 Crate-to-Operate™를 통한 빠르고 쉬운 설정 및 통합
  • 높이 및 레벨을 한 번에 조절할 수 있는 키네마틱 마운팅 시스템
  • Brooks의 다이렉트 드라이브 특허기술과 모션 컨트롤 전문기술
  • End-of-Line 구성 가능 옵션
  • 여러 장비 사이에서 쉽게 부품을 스왑할 수 있도록 지원하는 규격화된 예비부품 세트
  • 2-wide, 3-wide 및 4-wide 구성으로 제공