Spartan™ 450mm 개발 플랫폼(Spartan 450-DP)

새로운 Spartan™ 450mm 개발 플랫폼은 OEM(주문자상표생산부착업체)이 공정챔버 안팎으로 안전하게 이송하는 데 사용할 수 있으며, 적은 설치 면적을 차지하는 독창적인 시스템을 시장에 선보입니다. 이 단일 FOUP EFEM은 플랫폼 개발에 엔지니어링 시간을 투입해야 하는 필요성을 없앰으로써 OEM의 450mm 개발 노력을 가속화합니다. 확장이 매우 용이한 이 플랫폼을 통해, OEM은 소프트웨어 및 하드웨어 인터페이스를 변경하지 않고도 대량 생산 체제로 쉽게 전환할 수 있습니다.

주요 기능

  • 생산 환경에서 효과가 입증된 300mm 부품을 450mm Certon™ 로드 포트와 결합
  • Spartan™ EFEM 웨이퍼 엔진 내장 로드 포트 확장
  • 프리얼라이너 옵션
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작은 설치 면적

  • 폭: 1.4m
    깊이: 1.4m