Spartan™ 대기형 이송 시스템 EFEMs

기존의 “박스형” EFEM(Equipment Front-End Module)은 복잡한 장비 프런트 엔드를 구성하기 위해 웨이퍼 이송 대기압 로봇, 로드 포트, 웨이퍼 및 자동 ID, 미니 환경, 그리고 제어 소프트웨어 등을 포함하여 여러 규격 부품을 통합하는 매우 노동집약적이고 시간집약적인 과정을 통해 제작됩니다. 그러나, 이는 필연적으로 상호운영성, 인식/처리 오류 그리고 공급업체 책임과 관련된 문제로 이어지기 마련입니다.

Brooks는 이와 같은 복잡성과 문제를 인식하여 장비 제조업체와 칩 제조사들에게 진정한 의미의 고성능 대기형 장비 프런트 엔드 솔루션인 Spartan™ EFEM을 제공합니다. Spartan EFEM은 간단한 통합 설계를 통해 높은 처리량, 우수한 파티클 성능, 최적화된 청정실 공간, 낮은 소유 비용(COO)을 실현합니다.

Spartan EFEM의 장점

  • 검증된 기술을 채용한 간단한 설계로 처리량 증가 및 안정성 개선
  • ISO Class 1보다 우수한 파티클 성능
  • 쉬운 설정 및 설치를 위한 통합 설계로 장비 적합성 개선
  • 빠르고 쉬운 수리를 위한 전면 마운트 액세스

Spartan EFEM은 업계 최고의 고처리량을 자랑하는 300mm 프런트 엔드 자동화 솔루션입니다. Spartan EFEM의 모듈식 설계는 다양하고 독특한 OEM 애플리케이션에 맞출 수 있는 유연성을 기본적으로 제공합니다.

Spartan EFEM의 핵심은 모든 웨이퍼 이송 부품과 이동이 참조되는 중앙 데이터 구조에 있습니다. 이 단일 참조 표준은 쉬운 정렬과 설정을 지원하며, 최대 4개의 로드 포트 구성까지 확장할 수 있습니다. SEMI 표준을 엄격히 준수하는 Spartan EFEM는 유연하고 광범위한 용도를 지원하여 유지 관리를 단순화하고 COO를 낮춥니다.

최고의 생산성과 수익성

  • ISO Class 1보다 우수한 성능의 최적화된 국소환경시스템 (mini-environment)으로 동급 최고의 청정도를 실현합니다.
  • 듀얼, 초박형 에지 그립 웨이퍼 처리 기술은 가장 까다로운 애플리케이션에서도 빠른 스왑 시간을 보장합니다.
  • 유연하고 구성이 용이한 설계와 고급 소프트웨어 지원을 통해 손쉬운 통합과 서비스 용이성 및 관리 용이성이 실현됩니다.

Spartan EFEM은 기능적으로 대등한 어느 시스템보다도 작고 가벼우며 낮은 복잡성과 높은 안정성 및 에너지 효율을 자랑하며, 쉽게 300mm 자동화 Fab에 통합됩니다. 업계 최고의 파티클 성능과 함께, 높은 안정성/서비스 용이성/관리 용이성으로 보장되는 낮은 COO를 장점으로 가지고 있는 Spartan EFEM은 Crossing Automation에서 찾아 볼 수 있는 시판 제품 중 가장 강력한 EFEM입니다.