Marathon™ 2 이송 시스템

Brooks의 동급 최고의 솔루션을 차별화하는 기판 운반 환경과 통제된 환경에 걸쳐 축적된 최고의 엔지니어링 역량을 통해 진공 이송 시스템 분야에서 Brooks는 선두 지위를 유지하고 있습니다. Brooks의 첨단 진공 웨이퍼 이송 기술은 반도체 웨이퍼 가공 및 기타 복합 제조 환경의 설비 자동화 애플리케이션에 적합합니다. Brooks는 특정한 제조 환경과 공정 요건을 충족하는 광범위한 시스템을 100mm - 450mm 웨이퍼 이송을 위한 다양한 구성과 함께 제공합니다.

Brooks의 Marathon 2 통합 모듈식 진공 이송 시스템(VTS) 제품군을 사용해 성능과 수익성을 높일 수 있습니다. 300mm 및 450mm 웨이퍼 제조용으로 특별히 설계된 Marathon 2 시스템은 MagnaTran 로봇의 검증된 안정성과 최신 클러스터 장비의 혁신기술을 결합해, OEM을 위해 안정성과 성능을 최적화하는 동시에 최종 사용자의 소유 비용(COO)까지 낮춥니다.

주요 기능

  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius 로봇
  • Speed Lock™ 고처리량 스택형 로드락
  • CenterSmart™ 자동 웨이퍼 센터링
  • 5세대 전원 및 통신 시스템
  • 내장형 하드웨어 및 안전 연동 장치
  • 웨이퍼의 육안 모니터링을 위한 Insight™ 투명 이송 마개
  • CE, S2 및 기타 모든 관련 산업 표준 준수