Marathon™ Express 진공 이송 시스템

Brooks의 동급 최고의 솔루션을 차별화하는 기판 운반 환경과 통제된 환경에 걸쳐 축적된 최고의 엔지니어링 역량을 통해 진공 이송 시스템 분야에서 Brooks는 선두 지위를 유지하고 있습니다. Brooks의 첨단 진공 웨이퍼 이송 기술은 반도체 웨이퍼 가공 및 기타 복합 제조 환경의 설비 자동화 애플리케이션에 적합합니다. Brooks는 특정한 제조 환경과 공정 요건을 충족하는 광범위한 시스템을 100mm - 450mm 웨이퍼 이송을 위한 다양한 구성과 함께 제공합니다.

Marathon™ Express는  100mm, 125mm, 150mm 및 200mm 웨이퍼 크기 용도에서 뛰어난 진공 성능과 높은 처리량을 제공하도록 최적화된 구성이 용이한 모듈식 진공 이송 시스템(VTS)입니다. Marathon Express는 모듈식 구조와 4, 6, 7, 8면 버전이 제공되는 다양한 선택권을 통해 광범위한 공정 용도의 다양한 요구사항을 충족하도록 맞춤 제작할 수 있습니다.

이 고성능 진공 이송 시스템은 PVD, CVD, Etch, MR Head Deposition, MEMS와 함께 복합 반도체 애플리케이션에도 매우 적합합니다.

주요 기능

  • 최소한의 하드웨어 변경으로 100 ~ 200mm 크기 웨이퍼용으로 재구성 가능
  • 10M+ MCBF MagnaTran Radius 로봇
  • 4가지 기본 인터페이스 옵션이 있는 현장에서 검증된 25 또는 26 웨이퍼 카세트용 VCE 6 인덱싱 진동 로드락
  • 3열 ~ 8열(Torr) 기본압력 기성 진공 구성
  • 5세대 전원 및 통신 시스템
  • 내장형 하드웨어 및 안전 연동 장치
  • CE, S2 및 기타 모든 관련 산업 표준 준수