VCE 로드락

Brooks는 반도체 웨이퍼 처리, 플랫 패널 디스플레이 제조, 기타 복잡한 제조 환경을 위한 진공 처리 로봇 및 모듈 생산 분야에서 세계 최고의 업체입니다. Brooks는 동급 최고의 제품을 차별화하고 우수한 처리량, 안정성 및 서비스 가능성을 보장하는 수많은 지적재산을 축적하면서 기술을 발전시키고 시장에서의 리더십을 유지했습니다. 현장에서 입증된 Brooks의 웨이퍼 이송 로봇 및 모듈을 이용하면 성능을 향상시키고 총소유 비용을 절감하여 제조 효율을 높이고 혁신을 가속화하면서 이익을 창출할 수 있습니다.

Brooks VCE 6 진공 카세트 엘리베이터 로드락을 사용하면 AGV, RGV 또는 작업자가 최대 200mm의 SEMI 표준 웨이퍼 카세트를 안전하고 깨끗하게 이송할 수 있습니다. 다음과 같은 세 가지 유형으로 제공됩니다.

  • 카세트 이송 암을 포함한 카세트 버퍼 로드 스테이션
  • 인체 공학적 틸트 플랫폼과 카세트 가이드
  • 카세트 이송 암 플랫폼

VCE 6 진공 카세트 엘리베이터 로드락은 귀사만의 독특한 웨이퍼 제작 환경에 맞춘 경제적인 최첨단 공장 설정 인터페이스를 제공합니다. 이 로드락은 10-6 고진공 수준에서부터 대기압을 약간 넘는 수준까지 환경적으로 완전 격리된 상태에서 초청정도와 안정성이 확보된 작동을 지원합니다.

주요 기능

  • 자동화된 작동식 도어
  • 격리된 드라이브 메커니즘
  • 편평하고 깨끗한 실내 벽 인터페이스용으로 구성된 챔버
  • 카세트 내 웨이퍼 위치, 카세트 밖으로 돌출된 웨이퍼 및 플랫폼 위의 카세트 등을 감지하는 지능형 인식 기능 내장
  • CE/S2 준수