CTI-Cryogenics On-Board® IS 크라이오펌프

수리-재 제작 서비스

IS 320 FX

Brooks CTI-Cryogenics 인텔리전트 On-Board IS 크라이오펌프 시스템은 혁신적인 고효율 크라이오 기술을 활용하여 최고의 진공 성능과 에너지 효율성을 제공합니다. 특허 기술인 분산형 제어 시스템이 크라이오펌프 시스템의 개별 요소를 모니터링하고 지속적으로 조정하여 시스템 전반에 뛰어난 공정 일관성을 제공하기 위한 최적의 진공 성능을 유지합니다.

Brooks의 장점

  • 가장 광범위한 CTI-Cryogenics 크라이오펌프 및 컴프레서를 구비한 원스톱 글로벌샵
  • OEM: 제품 기술 전문가 및 디자인 엔지니어
  • 대규모 반도체 Fab이 있는 모든 지역에서 제공되는 수리 서비스
  • 모든 수리 등급에 대해 1년간의 종합보증
  • 수리 등급:
  • 모든 지역에서 시드(seed) 장치 교환 가능
  • 업그레이드 및 CIP 수리 서비스에 추가
  • Brooks 부품만 이용한 ISO 인증 수리
  • 전 세계적으로 통일된 수리 절차를 통해 일정한 품질 및 성능 유지
  • 서비스 수준에 관계 없이 모든 제품에 대해 정해진 리드타임
  • 모든 로봇에 대해 맞춤형 수리 계약 제공

On-Board 크라이오펌프 수리-재 제작 옵션

서비스 수준 모델 리드타임
재 제작 생산 중인 모든 모델에 적용(On-Board IS 8, 8F, 8F XP, 250FE, 320FE, 320FX) 3-4주
선교환 생산 중인 모든 모델에 적용(On-Board IS 8, 8F, 8F XP, 250FE, 320FE, 320FX) 5-7영업일
1일 신속 대응 교환 생산 중인 모델에 대부분 적용. * 다음 영업일

** 적용 가능 모델을 확인하려면 Brooks에 문의해 주십시오.

Brooks Certified Repair는 고품격 전문 서비스를 원하는 고객을 위한 올바른 선택입니다. 이 수리 서비스는 노후 제품의 성능과 필요한 모든 크라이오 제품의 수명을 최적화하도록 고안되었습니다.

On-Board 크라이오펌프 수리의 특징

  • 성능 업그레이드 옵션 선택 가능
  • 고급 평가 진단 장비
  • 자동 테스트 시설
  • Copy Exact 준수
  • 심층 고장 분석 옵션

사전 관리 계약

다량의 펌프를 보유 운영 중인 고객들은 제품 맞 교체를 포함한 재 제작 서비스나 고품격 예방 정비 서비스가 결합된 서비스 계약을 이용할 수 있습니다. 해당 계약을 체결하면 작업 가동 시간을 유지할 수 있도록 스페어 유닛을 필요한 시점에 즉시 이용할 수 있도록 공급합니다. 이 프로그램을 통해 고객은 예방정비 차원으로 장비를 관리하여 예상치 못한 가동 중단 시간을 줄이고, 고정 요금으로 작업장별 유지관리 비용을 예측하면서 예산을 책정할 수 있습니다.