MultiTran® 5/VacuTran™ 5 대기압 로봇 수리

MultiTran VacuTran 로봇 수리

Brooks의 특허 기술인 BiSymmetrik™ Arm과 듀얼 SEMI/MESC 준수 End Effectors가 포함된 MTR 5 M 모델 MultiTran® 5 로봇은 격리된 클러스터 설비에서의 높은 처리량을 보장하는 진공 웨이퍼 이송 로봇입니다.

VTR 5 M 모델 VacuTran™ 5 로봇은 SEMI/MESC 준수 Arm과 End Effectors를 포함하는 매우 안정적인 웨이퍼 이송 로봇입니다. VTR 5 M은 Single Arm 구성의 상단 장착형 로봇으로서, 클러스터 설비와 같은 대형 이송챔버 모듈에 사용됩니다.

Brooks의 장점

MultiTran 5/VacuTran 5 로봇 정가 수리 옵션

서비스 수준 설명 보증
기능 수리(Quoted) 생산 테스트 요건을 충족하는데 필요한 최소한의 수리 서비스 제공 전체 장치 90일
예방적 유지보수를 포함한 고급 수리 기능 수리 서비스 + 예방적 유지 관리(예상되는 고장을 방지하기 위해 필요할 경우 마모가 심한 부품을 수리) 전체 장치 12개월
재 제작 Brooks Engineering에서 정의한 대로 새로운 장치 작동 요건을 충족시키기 위한 전면적인 장치 재정비. 필요할 경우 장치의 외관도 교체 전체 장치 12개월

Brooks Certified Repair는 고품격 전문 서비스를 원하는 고객을 위한 올바른 선택입니다. 해당 수리 서비스는 노후 제품의 성능과 모든 자동화 장비의 수명을 최적화하도록 고안되었습니다.

MultiTran 5/VacuTran 5 로봇 수리의 특징

  • 수리 평가 상세 보고서
  • Copy Exact 준수
  • 외관 수리 옵션
  • 장애 심층 분석 옵션

사전 관리 계약

다량의 펌프를 보유 운영 중인 고객들은 제품 맞 교체를 포함한 재 제작 서비스나 고품격 예방 정비 서비스가 결합된 서비스 계약을 이용할 수 있습니다. 해당 계약을 체결하면 작업 가동 시간을 유지할 수 있도록 스페어 유닛을 필요한 시점에 즉시 이용할 수 있도록 공급합니다. 이 프로그램을 통해 고객은 예방정비 차원으로 장비를 관리하여 예상치 못한 가동 중단 시간을 줄이고, 고정 요금으로 작업장별 유지관리 비용을 예측하면서 예산을 책정할 수 있습니다.