듀얼 암 MagnaTran® 8 Radius™ 로봇은 현장에서 입증된 MagnaTran 다이렉트 드라이브 기술의 이점을 3축 구동으로 확장합니다. 또한, MagnaTran은 입증된 SCARA 암 기술을 활용하여 작은 회전 직경 내에서 4초 미만의 빠른 스왑을 제공합니다.
Brooks의 첨단 진공 웨이퍼 이송 기술은 반도체 웨이퍼 가공 및 기타 복합 제조 환경의 설비 자동화 애플리케이션에 매우 적합합니다. Brooks는 특정한 제조 환경 및 공정 요건을 충족하는 광범위한 시스템을 제공합니다(100mm ~ 450mm 웨이퍼 이송을 위한 다양한 구성 가능).
모든 Brooks 웨이퍼이송시스템의 핵심인 Jet 자동화 서브시스템은 시스템 단계에서 설계된 최초의 EFEM으로, 이를 통해 고객은 공통 핵심 기술을 중심으로 프로세스 장비를 제작할 수 있습니다. Jet는 산업 표준에 기초한 유연한 모듈식 구조를 통해 빠른 설정과 사이클 타임 단축 그리고 기존 fab 장비 및 공정과의 완벽한 통합을 지원합니다.
Brooks의 최신 로드 포트 모듈인 Vision 로드 포트 모듈은 300mm 및 450mm 설비 자동화를 위한 인텔리전트하고 유연한 공장출하 시 설정된 인터페이스 모듈입니다. 설정과 통합에 상당한 리드타임이 필요한 LPM과는 달리, Vision 로드 포트 모듈은 최대한의 상호운영성과 완벽한 호환성을 자랑하며 쉽게 구성할 수 있도록 설계되었습니다.
Brooks M2 Reticle 체인저는 Reticle/MASK 교환 및 검사 시스템입니다. 개별 I/O 스테이션을 사용하여 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기 (Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 박스 등) 간의 이동이 가능 합니다.
Brooks M2 Reticle 체인저는 Reticle/MASK 교환 및 검사 시스템입니다. 개별 I/O 스테이션을 사용하여 Reticle/MASK를 모든 스캐너/스테퍼 및 운송 용기 (Canon, Nikon, ASML, Toppan, Hoya, DMS 박스 등) 간의 이동이 가능 합니다.
