Smart Tag 적외선 8200 및 8400 제품군

Brooks Auto ID 시스템은 오늘날 자동화된 반도체 Fab에서 사용되는 최고의 자동 캐리어 ID 시스템입니다. 최신 디스플레이, 로직 및 통신 기술을 결합하여 다용도 전자 런 카드(run card)를 제공합니다. 이 시스템은 FOUP(Front-Opening-Unified-Pod), SMIF-Pod, 카세트, 레티클, 운전자 및 탐침 카드를 추적, 식별 및 관리할 수 있는 솔루션을 제공합니다.

식별 태그는 추적 할 항목 (200mm 포드, 300mm FOUP, 카세트 등)에 부착되고, 독자는 프로세스, 계측 및 자재 운반에 통합되어 있습니다. 독자는 통합으로 SMIF로드 포트 , 스토커, 수동 작업 진행 중 (WIP) 저장 선반, 종이 많은 여행객과 실행 카드에 대한 필요가 없습니다. 독자는 자동으로 도구에 도착하면 많은 ID를 전달합니다.

Smart Tag™ (Infrared ID)

The SMART Tag can be integrated into 200mm and 150mm SMIF load ports, stocker I/Os, and WIP racks. It automatically communicates the lot ID upon arrival at a tool.

Wireless communication technologies (Radio Frequency and Infrared), incorporated by the SMART-Traveler System, enable the tags to communicate reliably with minimum power consumption.

최고의 생산성과 수익성

  • Eliminates misprocessing and increases tool productivity, automatically identifying lots, reticles and probe cards.
  • Speeds the location and delivery of lots to tools, managing manual and automated WIP, and reticle storage.
  • Increases operator productivity with integrated data displays that let operators access lot/tool specific data where and when they need it.
  • Reduces system cost and increases system reliability.
  • Provides flexible auto ID systems that can be used in a variety of applications – in both manual and automated fabs.
  • In use at more than 100 fabs world-wide.
  • Meets all applicable SEMI standards.