M1900 전자동 Full-Auto RSP150 스토커
Brooks M1900 RSP150 스토커는 저장된 개별 Pod 의 slot별 연속 퍼지 시스템이 적용되었으며, 전자동 Pod 핸들링 기능을 제공합니다.
주요 기능
- 전자동 RSP150 이송
- Class 1 국소 환경/ESD/AMC
- 각 Pod를 위한 N2/XCDA 퍼지
- 퍼지 유량 확인
- 수동 백업 가능
- OHT 인터페이스
M1900 전자동 Full-Auto EUV Pod 스토커
Brooks M1900 EUV Pod 스토커는 전자동 EUV Pod 관리 와 개별 Pod를 위한 Slot별 연속 퍼지 시스템을 제공합니다.
주요 기능
- 전자동 EUV Pod 관리
- ISO Class 2 국소 환경
- ESD 및 AMC 제어 환경
- 각 Pod를 위한 N2/XCDA 퍼지
- 퍼지 유량 확인
- AMC 화합물 및 오염물 제거를 위한 고진공 챔버
- In-situ 측정 기능
- 수동 백업 가능
- OHT 인터페이스
M1900 반자동 Semi-Auto 레티클 박스 스토커
Brooks 반자동 M1900 레티클 박스 스토커는 최대 2,680개 레티클을 박스 형태로 보관 할 수 있습니다. 모든 Reticle box ID는 확인 후 데이터베이스로 취합하여 통합 관리를 지원 하고 있습니다. FAB 내 레티클 추적 관리가 최적화 됩니다.
주요 기능
- 대용량 - 작은 설치 면적
- 레티클 관리 시스템
- 빠른 로딩/언로딩
- 사용자 친화적 GUI
